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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119114405B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411478222.4，技术领域涉及：B06B1/02；该发明授权一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法是由李支康;谭鸿强;赵一鹤;雒瑞炎;李梓璇;舒畅;袁佳炜;张世旺;王久洪;赵立波设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于材料以及电子器件制造领域，公开了一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法，CMUTs包括自上而下依次连接的上电极、上绝缘层、振动膜、支柱层、硅基底和下电极，支柱层的振动膜、下绝缘层和支柱之间形成有空腔；方法包括：利用纳米二氧化硅复合材料，采用光固化3D打印方法，在表面进行了功能化的硅基底正面打印支柱层阵列；然后进行固化、热处理，得到第二器件；再键合振动膜；再在振动膜的正面打印上绝缘层；将再进行固化、热处理；再打印上电极；再通过湿法刻蚀工艺去除硅基底背面的二氧化；再在硅基底背面打印下电极；再去除光刻胶即可。本发明减少了所需设备和材料消耗，降低了生产成本。

本发明授权一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器的制备方法，其特征在于，所述基于3D打印的电容式微机械超声换能器包括自上而下依次连接的上电极（1）、上绝缘层（2）、振动膜（3）、支柱层（4）、硅基底（5）和下电极（6），支柱层（4）包括位于硅基底（5）正面的下绝缘层（9）和位于下绝缘层（9）正面的支柱（8）；振动膜（3）、下绝缘层（9）和支柱（8）之间形成有空腔（7）； 所述制备方法包括如下过程： 利用纳米二氧化硅复合材料，采用光固化3D打印方法，在表面进行了功能化的硅基底（5）正面打印支柱层阵列，得到第一器件； 将所述第一器件进行固化、热处理，得到第二器件； 在第二器件的支柱（8）的正面键合振动膜（3），得到第三电器件； 对第三电器件的振动膜（3）表面进行功能化，利用纳米二氧化硅复合材料，采用光固化3D打印方法，在第三电器件的振动膜（3）的正面打印上绝缘层（2），得到第四器件； 将所述第四器件进行固化、热处理，得到第五器件； 在第五器件的上绝缘层（2）表面通过3D打印的方式打印上电极（1），得到第六器件； 通过湿法刻蚀工艺去除第六器件中硅基底（5）背面的二氧化硅，得到第七器件； 在第七器件中硅基底（5）的背面通过3D打印的方式打印下电极（6），得到第八器件； 去除所述第八器件上的光刻胶，得到所述基于3D打印的电容式微机械超声换能器； 所述热处理包括热脱脂处理，以及热脱脂处理之后的烧结处理。

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