无锡卓海科技股份有限公司王远秀获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利翘曲片抓取用机械手臂获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223326389U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422559837.1,技术领域涉及:B25J11/00;该实用新型翘曲片抓取用机械手臂是由王远秀;相宇阳;俞胜武设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本翘曲片抓取用机械手臂在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体晶圆生产制造设备技术领域,公开了一种翘曲片抓取用机械手臂,包括手臂本体,手臂本体的内部设置有真空通道,手臂本体上延伸出第一指部和第二指部,第一指部上设置有与真空通道连通的第一吸附口和第二吸附口,第二指部上设置有与真空通道连通的第三吸附口,三个吸附口的所处位置连线构成等腰三角形,且第一吸附口与第二吸附口的所处位置连线构成等腰三角形的底边,三个吸附口上分别设置有弹性吸盘,弹性吸盘通过自身弹性形变与翘曲片的表面紧密贴合。该翘曲片抓取用机械手臂设置呈等腰三角形分布的三个吸附口,并通过吸附口上的弹性吸盘与翘曲片表面紧密接触,保证可靠支撑及吸附,从而实现了对翘曲片的稳固抓取。
本实用新型翘曲片抓取用机械手臂在权利要求书中公布了:1.一种翘曲片抓取用机械手臂,其特征在于,包括手臂本体1,所述手臂本体1的内部设置有真空通道2,所述手臂本体1上延伸出第一指部3和第二指部4,所述第一指部3的第一表面设置有与所述真空通道2连通的第一吸附口5和第二吸附口6,所述第二指部4的第一表面设置有与所述真空通道2连通的第三吸附口7,所述第一吸附口5、所述第二吸附口6、所述第三吸附口7的所处位置连线构成等腰三角形,且所述第一吸附口5与所述第二吸附口6的所处位置连线构成所述等腰三角形的底边,所述第一吸附口5、所述第二吸附口6和所述第三吸附口7上分别设置有弹性吸盘8,所述弹性吸盘8通过自身弹性形变与翘曲片的表面紧密贴合。
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