东旭科技集团有限公司徐峰获国家专利权
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龙图腾网获悉东旭科技集团有限公司申请的专利一种砷化镓多晶合成装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223329429U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422544843.X,技术领域涉及:C30B29/42;该实用新型一种砷化镓多晶合成装置是由徐峰;翟虎;孙金梅设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种砷化镓多晶合成装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于砷化镓多晶合成技术领域,具体的说是一种砷化镓多晶合成装置,包括等静压石墨合成腔,所述等静压石墨合成腔一侧滑动安装有挡板,所述等静压石墨合成腔一侧固定安装有真空泵,所述等静压石墨合成腔顶部固定安装有氩气箱;还包括合成机构,用于合成砷化镓多晶;所述合成机构包括等静压石墨托盘;通过多个石英管参与到砷化镓多晶合成工作中既能保证产量,又避免大尺寸石英管破裂的风险,通过第一电动伸缩杆伸长带动挡板沿着第一凹槽移动避免挡板影响石英管放置在等静压石墨合成腔内,接着通过第四电机输出轴带着双向螺纹杆转动,两个滑块沿着第六凹槽滑动并相互靠近使两个夹板将石英管夹紧。
本实用新型一种砷化镓多晶合成装置在权利要求书中公布了:1.一种砷化镓多晶合成装置,包括等静压石墨合成腔1,所述等静压石墨合成腔1一侧滑动安装有挡板2,所述等静压石墨合成腔1一侧固定安装有真空泵3,所述等静压石墨合成腔1顶部固定安装有氩气箱9; 还包括合成机构,用于合成砷化镓多晶; 其特征在于:所述合成机构包括等静压石墨托盘5,所述等静压石墨托盘5转动安装在等静压石墨合成腔1内腔底壁,所述等静压石墨托盘5顶部活动安装有六个石英管6,所述等静压石墨合成腔1内腔侧壁固定安装有若干等静压石墨发热体4。
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