三星显示有限公司张喆旼获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223329379U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422497853.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型沉积设备是由张喆旼;金定坤;许明洙设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积设备在说明书摘要公布了：一种沉积设备包括：沉积室，具有容纳衬底并且向衬底提供真空或非真空状态的内部空间，内部空间由底表面、顶表面和壁表面限定；气体喷射部件，容纳在内部空间中，包括上表面和面对衬底的下表面，并且将气体喷射到衬底上；以及衬底传送部件，容纳在内部空间中，衬底设置在衬底传送部件上，并且衬底传送部件在第一方向上移动衬底。气体喷射部件的厚度沿着第二方向变化，并且在非真空状态下，气体喷射部件的下表面具有曲化表面，并且在真空状态下，气体喷射部件的下表面在由第一方向和第二方向限定的平面上具有平坦表面。
本实用新型沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种沉积设备，其特征在于，包括： 沉积室，包括容纳衬底并且向所述衬底提供真空状态或非真空状态的内部空间，所述内部空间由底表面、与所述底表面相对的顶表面和连接所述底表面与所述顶表面的壁表面限定，所述底表面由彼此交叉的第一方向和第二方向限定； 气体喷射部件，容纳在所述内部空间中，包括面对所述衬底的下表面和与所述下表面相对的上表面，并且将气体喷射到所述衬底上；以及 衬底传送部件，容纳在所述内部空间中，所述衬底设置在所述衬底传送部件上，并且所述衬底传送部件在所述第一方向上移动所述衬底， 其中，所述气体喷射部件的厚度沿着所述第二方向变化，以及 在所述非真空状态下，所述气体喷射部件的所述下表面具有曲化表面，并且在所述真空状态下，所述气体喷射部件的所述下表面在由所述第一方向和所述第二方向限定的平面上具有平坦表面。
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