通威太阳能(成都)有限公司郑春林获国家专利权
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龙图腾网获悉通威太阳能(成都)有限公司申请的专利PECVD设备及其尾气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223329383U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422489685.2，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型PECVD设备及其尾气处理装置是由郑春林;胥望;熊敏;梁小娟;古玲;刘庆;胡涛;张旭设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本PECVD设备及其尾气处理装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种PECVD设备及其尾气处理装置。上述尾气处理装置包括第一尾气管道、负压泵及气流控制组件。第一尾气管道包括主气路以及分支气路，负压泵连通于主气路并用于连通PECVD设备的气相沉积腔室。气流控制组件设置在分支气路上，气流控制组件上设有能够打开以连通外部环境与所述分支气路或封闭的通气孔。主气路在负压泵作用下形成负压，外部空气能够被吸入主气路中。分支气路上设置气流控制组件，气流控制组件上设有能够连通外部环境与分支气路或隔断的通气孔，控制空气进入速度，避免进入空气量超过负压泵等设备的允许进气量，并且空气对主气路中残留的易燃易爆气体进行较为缓慢预氧化，能够减少开管后发生燃烧、闪爆的情况。
本实用新型PECVD设备及其尾气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD设备的尾气处理装置（10），其特征在于，包括第一尾气管道（110）、负压泵（120）以及气流控制组件（130）； 所述第一尾气管道（110）包括主气路（111）以及从所述主气路（111）分支出的分支气路（112），所述负压泵（120）连通于所述主气路（111）并用于连通PECVD设备的气相沉积腔室（20），以用于将PECVD设备中产生的尾气抽至所述主气路（111）中；所述气流控制组件（130）设置在所述分支气路（112）上，所述气流控制组件（130）上设有能够打开以连通外部环境与所述分支气路（112）或封闭的通气孔（131）。
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