中山市易天自动化设备有限公司高军鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉中山市易天自动化设备有限公司申请的专利一种用于撕膜的易撕贴贴附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333752U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422481354.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种用于撕膜的易撕贴贴附装置是由高军鹏;陈涛;朱远福设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于撕膜的易撕贴贴附装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种用于撕膜的易撕贴贴附装置，包括易撕贴上料组件、升降组件、水平组件、易撕贴贴附组件、除静电组件和检测组件，易撕贴上料组件用于将易撕贴导出并水平放置，升降组件与水平组件配合运动用于带动易撕贴贴附组件进行升降和水平运动，除静电组件用于对晶圆膜的表面去除静电，易撕贴贴附组件用于获取易撕贴，并将易撕贴贴附至晶圆膜的表面，检测组件用于检测易撕贴与晶圆膜表面的贴附情况。本实用新型采用除静电组件对晶圆膜的表面除静电，有效避免静电对晶圆造成损坏；本实用新型采用检测组件实时检测易撕贴与晶圆膜表面的贴附情况，有效提高预警能力；本实用新型采用全自动化的获取和贴附易撕贴，有效提高贴附效率。
本实用新型一种用于撕膜的易撕贴贴附装置在权利要求书中公布了：1.一种用于撕膜的易撕贴贴附装置，其特征在于，包括易撕贴上料组件、升降组件、水平组件、易撕贴贴附组件、除静电组件和检测组件，所述易撕贴上料组件呈竖直放置，用于将易撕贴导出并使所述易撕贴水平放置，所述升降组件与所述水平组件配合运动用于带动所述易撕贴贴附组件进行升降运动和水平运动，所述除静电组件设于所述水平组件下方，用于对晶圆膜的表面去除静电，所述易撕贴贴附组件用于拿取所述易撕贴，并将所述易撕贴贴附至所述晶圆膜的表面，所述检测组件用于检测所述易撕贴与所述晶圆膜表面的贴附情况。
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