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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种真空环境兼容的精密主动减振器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118912146B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411326327.8，技术领域涉及：F16F15/00；该发明授权一种真空环境兼容的精密主动减振器是由姜伟;吴明凯;吴九林;李小清;陈学东设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空环境兼容的精密主动减振器在说明书摘要公布了：本申请属于超精密减振领域，公开了一种真空环境兼容的精密主动减振器，包括：顶板、底板和减振单元，减振单元包括并联的被动减振单元和主动减振单元，主动减振单元设置于顶板和底板之间，且位于空气弹簧外，被动减振单元包括同轴且竖直设置的空气弹簧和磁负刚度弹簧；空气弹簧包括主气室，主气室的底部连接有金属密封波纹管，主气室的顶端与顶板柔性连接；金属密封波纹管的底端密封固定于底板上，使主气室成真空密闭腔；磁负刚度弹簧设置于空气弹簧内，且其顶端固定于空腔的上壁上，其底端与底板柔性连接。本申请具有优异的隔振性能且具有良好的真空环境适应性，满足EUV光刻机等设备的隔振需求。

本发明授权一种真空环境兼容的精密主动减振器在权利要求书中公布了：1.一种真空环境兼容的精密主动减振器，其特征在于，包括：顶板（1）、底板（2）、减振单元和真空密封组件（3），所述减振单元包括并联的被动减振单元和主动减振单元，所述被动减振单元包括同轴且竖直设置的空气弹簧（4）和磁负刚度弹簧（5），所述主动减振单元设置于顶板（1）和底板（2）之间，且位于空气弹簧（4）外；所述空气弹簧（4）包括主气室（41），所述主气室（41）的底部连接有金属密封波纹管（42），所述主气室（41）的顶端与顶板（1）柔性连接；所述金属密封波纹管（42）的底端密封固定于底板（2）上，使主气室（41）形成第一真空密封腔；所述磁负刚度弹簧（5）位于空气弹簧（4）内，其顶端固定于第一真空密封腔上壁上，其底端与底板（2）柔性连接；所述真空密封组件（3）包括顶板密封板（31）、金属密封壳体（32）、底板密封板（33）和法兰密封板（34）；所述金属密封壳体（32）为中空筒形结构，其上端固定于顶板（1）上，其下端固定于底板（2）上形成安装腔，所述金属密封壳体（32）靠近底板（2）的一端周向上设有第一波纹褶皱结构（321）；所述底板（2）上开设有为空气弹簧（4）内部供气的通孔（25），所述法兰密封板（34）固定于所述通孔（25）处，所述顶板密封板（31）固定于顶板（1）外侧，所述底板密封板（33）固定于底板（2）外侧，以使所述安装腔形成第二真空密封腔，所述减振单元固定于所述第二真空密封腔内。

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