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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种自参考干涉仪棱镜光程差检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119197302B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411243782.1，技术领域涉及：G01B9/02055；该发明授权一种自参考干涉仪棱镜光程差检测系统是由马敬;齐月静;苏佳妮;齐威设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自参考干涉仪棱镜光程差检测系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种自参考干涉仪棱镜光程差检测系统，包括自参考干涉仪棱镜、偏振分光棱镜、第一反射镜、第二反射镜、分光棱镜、第一半波片和第二半波片，所述偏振分光棱镜和所述分光棱镜均设置在所述自参考干涉仪棱镜的下方，在所述偏振分光棱镜的前方设有白光光源，所述第一反射镜设置在所述偏振分光棱镜的后方；在所述分光棱镜的前方设有探测器，所述第二反射镜设置在所述分光棱镜的后方；所述第一半波片设置在所述偏振分光棱镜与所述自参考干涉仪棱镜之间的光路上，所述第二半波片设置在所述偏振分光棱镜与所述第一反射镜之间的光路上。本发明提供的自参考干涉仪棱镜光程差检测系统，能够实现对自参考干涉仪棱镜光程差的精确测量。

本发明授权一种自参考干涉仪棱镜光程差检测系统在权利要求书中公布了：1.一种自参考干涉仪棱镜光程差检测系统，其特征在于，包括自参考干涉仪棱镜、偏振分光棱镜、第一反射镜、第二反射镜、分光棱镜、第一半波片和第二半波片，所述偏振分光棱镜和所述分光棱镜均设置在所述自参考干涉仪棱镜的下方，在所述偏振分光棱镜的前方设有白光光源，所述第一反射镜设置在所述偏振分光棱镜的后方；在所述分光棱镜的前方设有探测器，所述第二反射镜设置在所述分光棱镜的后方；所述第一半波片设置在所述偏振分光棱镜与所述自参考干涉仪棱镜之间的光路上，所述第二半波片设置在所述偏振分光棱镜与所述第一反射镜之间的光路上； 所述偏振分光棱镜用于将所述白光光源发出的光分成第一偏振光和第二偏振光，所述第一偏振光经过所述第一半波片后从所述自参考干涉仪棱镜的入射面垂直射入，所述第二偏振光经过所述第二半波片后依次通过所述第一反射镜和所述第二反射镜进行反射，所述第二反射镜的出射光线和所述自参考干涉仪棱镜的出射光线分别射入所述分光棱镜，并分别经过所述分光棱镜透射和反射后到达探测器。

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