传周半导体科技(上海)有限公司李孟龙获国家专利权
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龙图腾网获悉传周半导体科技(上海)有限公司申请的专利一种高鲁棒性光栅尺绝对码道系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118293798B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410433650.9,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种高鲁棒性光栅尺绝对码道系统是由李孟龙;段兆晨;林凯设计研发完成,并于2024-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高鲁棒性光栅尺绝对码道系统在说明书摘要公布了:本发明提供的是一种高鲁棒性光栅尺绝对码道系统,高精度光栅尺读头系统由光源、标尺光栅、指示光栅、增量光电二极管(Photo‑Diode,PD)、绝对PD、增量PD检测电路、绝对PD检测电路、计算处理单元组成。其中增量PD和增量PD检测电路共同组成增量检测码道,输出测量系统的增量位置信息到计算处理单元;绝对PD和绝对PD检测电路共同组成绝对检测码道,输出测量系统的绝对位置信息到计算处理单元,计算处理单元根据增量位置信息和绝对位置信息对系统进行纠错修正并输出高精度的绝对位置信息。本发明可用于高精度微小位移的测量,可广泛用于精密半导体制造、精密位移测量、精密运动控制、数控机床的闭环反馈控制等领域。
本发明授权一种高鲁棒性光栅尺绝对码道系统在权利要求书中公布了:1.一种高鲁棒性光栅尺绝对码道系统,其特征在于,由光源、标尺光栅、指示光栅、增量光电二极管、绝对PD、增量PD检测电路、绝对PD检测电路、计算处理单元组成,光源的光分别经过标尺光栅和指示光栅在增量PD和绝对PD表面形成特定光斑,增量PD和增量PD检测电路组成增量检测码道,增量PD将照到其表面的反映当前位置信息的光斑转为电流信号,经增量PD检测电路后转为模拟电压信号,包含系统增量位置信息,绝对PD和绝对PD检测电路组成绝对检测码道,绝对PD将照到其表面的反映当前位置信息的光斑转为电流信号,经绝对PD检测电路后转为数字信号,包含系统绝对位置信息,计算处理单元根据增量位置信息和绝对位置信息判断当前位置信息状态,对增量PD检测电路和绝对PD检测电路发出修正指令,根据现有增量位置信息和绝对位置信息计算当前精确绝对位置; 判断逻辑中增量码道分为信号M1和M2,M1在相位0°处输出一个周期高电平,M2在相位90°处输出一个周期高电平,若出现光脏污问题或环境引入干扰,导致高电平时间大于1个增量码道周期情况下需要M1和M2进行互纠错; 纠错为分别判断M1,M2输出上升沿和下降沿对应增量码道相位情况,若对应相位为0°、180°则此时M1,M2判断正确,若未对准则对非对准情况判断,选角度偏差最小情况为当前计算依据,根据偏差情况修改VIH和VIL; 绝对PD检测电路包含的迟滞比较器中参考电压Vref需随光斑亮度变化,为PD输出电压最大值的一半,其输出数字信号Vout的逻辑为: Vin为绝对PD检测电路包含的TIA输出及迟滞比较器输入,VIH为设置高电平迟滞电压,VIL为设置低电平迟滞电压,VIH和VIL受计算处理单元控制,若上升沿下降沿均未对齐则计算出最小相位误差Δω,计算处理单元根据计算出该值对相位对齐情况校正并更改VIH和VIL,若Δω大于0说明绝对码道超前增量码道,需加大绝对码道判决延时,若Δω小于0说明增量码道超前绝对码道,需减小绝对码道判决延时,同时调整VIH和VIL,其值为: 此调整为逐次逼近,系数k表示逼近程度。
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