研微(江苏)半导体科技有限公司严怀余获国家专利权
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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利一种肋骨结构以及石英腔体组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118639324B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311858048.1，技术领域涉及：C30B25/10；该发明授权一种肋骨结构以及石英腔体组件是由严怀余;邹湘;王菲;罗际蔚;卞达开设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种肋骨结构以及石英腔体组件在说明书摘要公布了：本公开提供一种肋骨结构及石英腔体组件，所述肋骨结构包括多个肋条，多个所述肋条依次首尾连接形成多边形的框架结构以套设在石英腔体的外侧，所述肋骨结构中至少一个所述肋条的厚度设置为小于预定值或者至少一个所述肋条为厚度渐变结构。本公开实施例通过对肋条的结构实现调整以达到在满足石英腔强度的前提下，降低肋板高度，从而降低卤素灯在晶圆和支撑结构上形成的阴影，改善温场。
本发明授权一种肋骨结构以及石英腔体组件在权利要求书中公布了：1.一种肋骨结构，其特征在于，所述肋骨结构包括多个肋条，多个所述肋条依次首尾连接形成多边形的框架结构以套设在石英腔体的外侧，所述石英腔体的截面为长方形，所述肋骨结构中至少一个所述肋条包括厚度渐变结构，所述肋条具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面至少部分与所述石英腔体的外表面固定连接，且所述第一表面为平面，所述厚度渐变结构为所述肋条的厚度从其两端向中间逐渐减小的结构，所述肋骨结构中的至少一个所述肋条的端部设置加强结构，所述加强结构使得所述肋条的端部的厚度相对于所述肋条其他位置的厚度较大和或使得所述肋条的端部的宽度相对于所述肋条其他位置的宽度较大。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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