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龙图腾网获悉江苏科技大学申请的专利一种抗高载荷冲击的MEMS内凹蜂窝状盘形陀螺结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116499443B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310641063.4，技术领域涉及：G01C19/56；该发明授权一种抗高载荷冲击的MEMS内凹蜂窝状盘形陀螺结构是由贾佳;许书凯;万振刚;黄巧亮;袁文华;陈庆芳设计研发完成，并于2023-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抗高载荷冲击的MEMS内凹蜂窝状盘形陀螺结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种抗高载荷冲击的MEMS内凹蜂窝状盘形陀螺结构，包括谐振子及电极；谐振子为锚点外置的内凹蜂窝状盘形谐振子，其外缘为锚点，中心为谐振环，谐振环与锚点由内凹蜂窝状拓扑结构连接；内凹蜂窝状拓扑结构由内凹六边形蜂窝周向阵列分布而成，周向相邻的两个内凹六边形蜂窝错开排列，一个内凹六边形蜂窝的上底边位于另一个内凹六边形蜂窝的内凹角处。该陀螺结构具备较优的抗载荷冲击性能。本发明的电极设置分布提高了谐振子的输出信号的信噪比，降低了结构误差和外部扰动对谐振子正常振动信号提取的干扰。本发明提高了MEMS陀螺在高载荷冲击状态下的存活率，具备较高的机械灵敏度和精度，适用于武器制导、航空航天等领域。

本发明授权一种抗高载荷冲击的MEMS内凹蜂窝状盘形陀螺结构在权利要求书中公布了：1.一种抗高载荷冲击的MEMS内凹蜂窝状盘形陀螺结构，其特征在于，包括谐振子（1）及设置在其内的电极；所述谐振子（1）为锚点外置的内凹蜂窝状盘形谐振子，整体呈轴对称的圆盘形，谐振子（1）的外缘为锚点（12），谐振子的中心为一圈圆形的谐振环（13），谐振环（13）与锚点（12）由内凹蜂窝状拓扑结构（11）连接；内凹蜂窝状拓扑结构（11）由内凹六边形蜂窝（113）周向阵列分布而成，周向相邻的两个内凹六边形蜂窝错开排列，一个内凹六边形蜂窝的上底边位于另一个内凹六边形蜂窝的内凹角处； 所述内凹蜂窝状拓扑结构（11）包括沿周向交替分布的工作区（111）和校正区（112），激励电极、检测电极和调谐电极位于工作区（111），正交校正电极位于校正区（112）； 激励电极包括第一模态正反向激励电极和第二模态正反向激励电极，检测电极包括第一模态正反向检测电极和第二模态正反向检测电极；正反向激励电极之间的周向角度差为90°，同一工作区的激励电极和检测电极同向且工作模态相同；上述激励电极和检测电极均为差分电极，差分电极由相同工作模态下正反向激励电极或检测电极构成，第一模态的差分激励电极和第二模态的差分激励电极之间的周向角度差为45°。

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