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龙图腾网获悉业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司申请的专利迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116625229B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310380265.8，技术领域涉及：G01B9/02015；该发明授权迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪是由叶肇懿;吴朵朵设计研发完成，并于2023-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪在说明书摘要公布了：本申请涉及一种迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪。量测方法包括：根据第一镜片层的光学特性与第二镜片层的光学特性，发出第一偏振光；对第一参考偏振光和或第一测试偏振光进行偏振调制，以使第一参考偏振光与第一测试偏振光具有相同的偏振状态；根据第一镜片层的光学特性和第二镜片层的光学特性，发出第二偏振光；对第二参考偏振光和或第二测试偏振光进行偏振调制，以使第二参考偏振光与第二测试偏振光具有相同的偏振状态。本申请通过设置偏振调制组件对参考偏振光和对应的测试偏振光分别进行偏振调制，从而使得每一参考偏振光与对应的测试偏振光都具有相同的偏振状态，从而对叠层结构中的各层结构分别进行形貌的量测。

本发明授权迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪在权利要求书中公布了：1.一种迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪包括光源、反射镜、接收传感器及非偏振分光镜；所述光源、所述非偏振分光镜及叠层结构沿z向依次间隔设置，所述反射镜、所述非偏振分光镜及所述接收传感器沿y向依次间隔设置，且所述z向与所述y向相互垂直；所述叠层结构包括沿所述z向依次层叠设置的第一镜片层和第二镜片层； 所述量测方法包括： 根据所述第一镜片层的光学特性与所述第二镜片层的光学特性，发出第一偏振光； 将所述第一偏振光分束为传输至所述反射镜的第一参考偏振光和传输至所述第一镜片层的第一测试偏振光； 对所述第一参考偏振光和或所述第一测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第一参考偏振光，与经由所述第一镜片层反射并传输至所述接收传感器的第一测试偏振光具有相同的偏振状态； 根据所述第一镜片层的光学特性和所述第二镜片层的光学特性，发出第二偏振光； 将所述第二偏振光分束为传输至所述反射镜的第二参考偏振光和传输至所述叠层结构的第二镜片层的第二测试偏振光； 对所述第二参考偏振光和或所述第二测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第二参考偏振光，与经由所述第二镜片层反射并传输至所述接收传感器的第二测试偏振光具有相同的偏振状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司，其通讯地址为：611731 四川省成都市高新区西区合作路689号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。