中国科学院上海技术物理研究所邵军获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利基于泵浦探测拉曼光谱的半导体导热系数测试方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116297399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310284067.1,技术领域涉及:G01N21/65;该发明授权基于泵浦探测拉曼光谱的半导体导热系数测试方法和装置是由邵军;陈熙仁;刘浩然设计研发完成,并于2023-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于泵浦探测拉曼光谱的半导体导热系数测试方法和装置在说明书摘要公布了:本发明公开基于泵浦探测拉曼光谱的半导体导热系数测试方法和装置。该装置包括泵浦源激发和探测子系统、泵浦激光光斑调节子系统、样品与参考平面的温度控制子系统、拉曼激发与收集子系统、光谱测量子系统、光学元件切换控制部件以及计算机中控。该方法使用上述装置进行激发光反射率和泵浦‑探测拉曼光谱测量,能够准确获取泵浦加热导致的半导体温度变化,从而测量出导热系数。本发明具有便捷、无损、非接触等优点,非常适用于微小尺寸光电材料热学性质检测。
本发明授权基于泵浦探测拉曼光谱的半导体导热系数测试方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种基于泵浦探测拉曼光谱的半导体导热系数测试装置,包括泵浦源激发和探测子系统1、泵浦激光光斑调节子系统2、样品与参考平面的温度控制子系统3、拉曼激发与收集子系统4、光谱测量子系统5、光学元件切换控制部件6以及计算机中控7;其特征在于: 所述泵浦源激发和探测子系统1包括出射光子能量大于待测样品禁带宽度的第一连续激光器101、放置在第一连续激光器101激光器前透过波段对应激光波长的窄带通滤光片102、依次经过激光相应波长的光学扩束器103、直角平面反射镜104、激光相应波长的光学衰减片105和覆盖激光波长范围第一光电探测器106; 所述泵浦激光光斑调节子系统2包括具有电动移动功能的激光反射镜201、由激光反射镜组成的引导光路202和可调焦距的激光聚焦透镜组203; 所述样品与参考平面的温度控制子系统3包括光学恒温器301、放置在光学恒温器301中表面平整光滑的待测样品302、与待测样品等厚的参考平面镜303、具有电动可移动功能的高热导金属样品托304、置于样品托上的温度传感器305以及与传感器相联的温度显示器306; 所述拉曼激发与收集子系统4包括产生光子能量小于第一连续激光器101出射光子能量的第二连续激光器401、激光对应波长的聚焦透镜402、具有沿聚焦方向小孔的抛物面反射镜403、抛物面反射镜404以及由若干平面反射镜组成的散射光引导光路405; 所述光谱测量子系统5包括具有电动移动功能的大面积平面反射镜501、覆盖拉曼散射信号波段的光谱仪502、截止波长位于第一连续激光器101出射波长和反斯托克斯散射光波长之间的长波通滤光片503、对应第二连续激光器401出射波长的窄带陷波滤光片504以及覆盖拉曼散射信号波段的第二光电探测器505; 所述泵浦源激发和探测子系统1与泵浦激光光斑调节子系统2、样品与参考平面的温度控制子系统3、拉曼激发与收集子系统4以及光谱测量子系统5光学相联; 所述光学元件切换控制部件6与可电动移动激光反射镜201、金属样品托304和大面积平面反射镜501电学相联; 所述计算机中控7与第一光电探测器106、第二光电探测器505和光谱仪502相联,读取探测器和光谱仪信号。
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