珠海晶通科技有限公司沈志春获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海晶通科技有限公司申请的专利一种提高单wafer晶圆规划多种不同block的制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116314181B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310257182.X,技术领域涉及:H10D89/10;该发明授权一种提高单wafer晶圆规划多种不同block的制作方法是由沈志春;陈勇坚;夏玥;张清贵;刘心舸;吴欣延设计研发完成,并于2023-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高单wafer晶圆规划多种不同block的制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开的一种提高单wafer晶圆规划多种不同block的制作方法,包括以下步骤:步骤S1,规划多个block;步骤S2,设置多个不同的修正值;步骤S3,确定修正值的连线方式,在物理版图实现的过程中,把布线层引到金属布线顶层;步骤S4,样片测试,分别对不同block进行测试,测试完成后挑选出最符合设计目标的block;步骤S5,整个晶圆只需在原来的数据基础上,改动顶层金属mask光罩就可以进行芯片大规模的量产,这样制作方法不仅节省了大量的宝贵时间,有效提高单wafer晶圆成功率和缩短芯片设计周期、降低成本,而且也避免了产能紧张的问题。
本发明授权一种提高单wafer晶圆规划多种不同block的制作方法在权利要求书中公布了:1.一种提高单wafer晶圆规划多种不同block的制作方法,用于在单个wafer晶圆上规划出多个不同block,其特征在于,该制作方法包括以下步骤: 步骤S1,规划多个block 在单个wafer晶圆上规划出多个不同block,所述不同的block大小形状相同而仅仅只是最高n层金属metal的连线不同,n为大于等于1的正整数,如果n为1即不同的block只有最高一层金属metal的连线不同,n为2即不同的block有最高两层金属metal连线不同;依此类推,n为m即不同的block有最高m层金属metal连线不同; 步骤S2,设置多个不同的修正值 当n=1时,不同的block只有最高层金属metal连线不同,当n=2时,不同的block最高2层金属metal连线不同,依此类推,n=m时,不同的block最高m层金属metal连线不同; 然后,运用工艺金属线光罩选择方式得到不同block所对应相关参数不同的修正值; 具体为,根据电路的特点,设计出多个带有可供修正的重要参数,每个参数是0或者是1,然后根据不同的参数,按照BCD码方式进行编码,得到不同block所对应相关参数不同的修正值; 步骤S3,确定修正值的连线方式 在物理版图实现的过程中,把布线层引到金属布线顶层,在参数编码后,修正值对应为1的通过版图物理连线连接到电源线VDD或者高电平钳位单元,修正值对应为0的通过物理版图连线、连接到顶层地线VSS或者低电平钳位单元,形成一个按照工艺金属线光罩选择方式的设计; 步骤S4,样片测试 芯片生产完成后,进行样片测试,分别对不同block进行测试,测试完成后挑选出最符合设计目标的block,在不额外增加流片的情况下,在原来的数据里面直接改动最高层金属mask光罩,即把其他block的修正值改成和最符合设计目标的block的修正值一样; 实现在版图数据上,修正值1改成0的,即把原来最高层金属连接到电源线VDD或者高电平钳位单元改成连接到地线VSS或者低电平钳位单元上;修正值0改成1的,即把原来最高层金属连接到地线VSS或者低电平钳位单元改成连接到电源线VDD或者高电平钳位单元上; 步骤S5,整个晶圆只需在原来的数据基础上,改动最高金属层mask光罩就可以进行芯片大规模的量产。
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