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龙图腾网获悉意子科技私人投资有限公司申请的专利一种精度可控调制的光微机电结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116068224B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310206786.1，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种精度可控调制的光微机电结构是由张洪波;王晨璐;任恒江;罗杰设计研发完成，并于2023-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种精度可控调制的光微机电结构在说明书摘要公布了：本发明提供一种精度可控调制的光微机电结构，包括悬浮质量块、多条悬浮系链、光子晶体微腔、悬浮光波导、第一连接系带、悬浮梁、第二连接系带、刚性块体及电容器，其中，电容器的第一电容端固定于悬浮梁，第二电容端固定于刚性块体。本发明使用电容调制的方法来调制光学微腔，不仅可对光刻工艺生产的光学微腔进行校正，使光子晶体微腔的实际共振波长与设计的工作波长完好匹配，还可调整因为工作环境的变化导致的共振波长的偏移，从而提高测量精度。本发明中电容器只调制了光子晶体微腔的间隙，没有影响质量块的机械特性，即只调制光学特性，可避免调制串扰。本发明中光波导与光学微腔的一端相连固定，具有良好的光学耦合稳定性及系统整体稳定性。

本发明授权一种精度可控调制的光微机电结构在权利要求书中公布了：1.一种精度可控调制的光微机电结构，其特征在于，包括： 悬浮质量块； 多条悬浮系链，分布于所述悬浮质量块的X方向两侧并与所述悬浮质量块连接； 光子晶体微腔，位于所述悬浮质量块的Y方向一侧，所述Y方向与所述X方向相互垂直，所述光子晶体微腔包括第一悬浮光子晶体与第二悬浮光子晶体，所述第一悬浮光子晶体固定于所述悬浮质量块，所述第二悬浮光子晶体位于所述第一悬浮光子晶体远离所述悬浮质量块的一侧并与所述第一悬浮光子晶体间隔设置； 悬浮光波导，位于所述光子晶体微腔远离所述悬浮质量块的一侧并与所述光子晶体微腔间隔预设距离； 第一连接系带，连接于所述第二悬浮光子晶体与所述悬浮光波导之间； 悬浮梁，位于所述悬浮光波导远离所述光子晶体微腔的一侧并与所述悬浮光波导间隔设置； 第二连接系带，连接于所述悬浮光波导与所述悬浮梁之间； 刚性块体，位于所述悬浮梁远离所述悬浮光波导的一侧并与所述悬浮梁间隔设置； 电容器，包括在Y方向上间隔设置的第一电容端与第二电容端，所述第一电容端固定于所述悬浮梁，所述第二电容端固定于所述刚性块体。

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