杭州富芯半导体有限公司李岩获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利晶圆静电吸盘的检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115980878B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211687056.X，技术领域涉及：G01V11/00；该发明授权晶圆静电吸盘的检测方法是由李岩;林丰文设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆静电吸盘的检测方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆静电吸盘的检测方法，先获取伸缩接地针与晶圆静电吸盘的表面齐平时的库仑力阈值，以及伸缩接地针突出于晶圆静电吸盘的表面的高度阈值，而后在无晶圆状态下，采用压力计获取伸缩接地针与晶圆静电吸盘的表面齐平时的压力值，以及采用高度计获取伸缩接地针突出于晶圆静电吸盘的表面的高度值，并将获取的高度值与高度阈值进行比对，以及将获取的压力值与库仑力阈值进行比对，以对晶圆静电吸盘进行检测判定。本申请晶圆静电吸盘的检测方法，可成功检查出是否能满足工艺技术要求的晶圆静电吸盘，从而大大减小产品报废风险，提高设备的利用率。
本发明授权晶圆静电吸盘的检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆静电吸盘的检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 提供晶圆静电吸盘100，所述晶圆静电吸盘100中设置有伸缩接地针300； 获取所述伸缩接地针300与所述晶圆静电吸盘100的表面齐平时的库仑力阈值，以及获取所述伸缩接地针300突出于所述晶圆静电吸盘100的表面的高度阈值； 在无晶圆200状态下，采用压力计获取所述伸缩接地针300与所述晶圆静电吸盘100的表面齐平时的压力值，以及采用高度计获取所述伸缩接地针300突出于所述晶圆静电吸盘100的表面的高度值； 将获取的所述高度值与所述高度阈值进行比对，以及将获取的所述压力值与所述库仑力阈值进行比对，以对所述晶圆静电吸盘100中的所述伸缩接地针300是否处于正常状态进行检测判定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州富芯半导体有限公司，其通讯地址为：310000 浙江省杭州市滨江区西兴街道联慧街6号1-1301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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