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龙图腾网获悉鹏城半导体技术(深圳)有限公司申请的专利一种立式双室热丝CVD系统及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115896746B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211432334.7，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种立式双室热丝CVD系统及其使用方法是由吴向方;梁玉生;孔祥鹏;吴煦;梁家禄;蔡豫设计研发完成，并于2022-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种立式双室热丝CVD系统及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种立式双室热丝CVD系统及其使用方法，涉及化学沉积镀膜设备技术领域，进样室具有预处理腔。工艺室具有工艺腔，工艺腔与预处理腔相连通。若干个传动辊设置于预处理腔和工艺腔底部。插板阀用于插设于进样室靠近工艺室的一侧，将预处理腔和工艺腔隔离开。还用于拔出插板阀时，将预处理腔和工艺腔之间连通。样品车位于传动辊上，且沿着传动辊在预处理腔和工艺腔之间移动；样品车具有安装腔，安装腔用于安装基片。热丝用于在样品车移动至工艺腔内时，位于安装腔内，且基片位于热丝的一侧或者两侧。进气管路设置于工艺腔顶部，进气管路用于通入混合气体。抽气系统用于抽真空，与预处理腔和工艺腔底部相连通。本发明用于基片镀膜。

本发明授权一种立式双室热丝CVD系统及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种立式双室热丝CVD系统，用于基片镀膜，其特征在于，所述立式双室热丝CVD系统包括： 进样室，具有预处理腔； 工艺室，具有工艺腔，所述工艺腔与所述预处理腔相连通； 若干个传动辊，设置于所述预处理腔和工艺腔底部； 插板阀，用于插设于所述进样室靠近所述工艺室的一侧，将所述预处理腔和所述工艺腔隔离开；还用于拔出所述插板阀时，将所述预处理腔和所述工艺腔之间连通； 样品车，位于所述传动辊上，且沿着所述传动辊在所述预处理腔和所述工艺腔之间移动；所述样品车具有安装腔，所述安装腔具有两个平行设置相对的安装面，所述安装面用于安装基片； 若干个等间距设置且位于同一平面的热丝，设置于所述工艺腔内，所述热丝用于在所述样品车移动至所述工艺腔内时，位于所述安装腔内，且所述基片位于所述热丝的一侧或者两侧； 所述插板阀包括： 外壳，位于所述进样室的上部，且与所述进样室的顶壁垂直相连； 两个平行设置的连接板，一部分伸入至预处理腔的前后相对的两个侧壁，且与所述预处理腔相连，另一部分深入至所述外壳内与所述外壳的侧壁相连； 两个冷水板，垂直设置于所述两个连接板之间，且与所述连接板滑动相连，所述冷水板内具有冷水腔，所述冷水腔内通入冷却液； 气缸，具有气缸杆，所述气缸杆与所述两个冷水板的内壁铰接，所述气缸用于将所述两个冷水板推入至所述预处理腔内，使得冷水板抵接于所述工艺腔靠近所述预处理腔的一侧实现密封；所述气缸还用于将所述两个冷水板拉出所述外壳内，从而实现预处理腔和所述工艺腔之间的连通； 所述进样室和工艺室的侧壁均具有间隙夹层，所述立式双室热丝CVD系统还包括： 水冷系统，包括冷却水箱和水管，其中，所述水管与所述冷却水箱相连通，所述水管的进口与所述进样室和所述工艺室的底部的间隙夹层，以及水冷板相连通；所述水管的出口与所述进样室和所述工艺室的顶部的间隙夹层，以及水冷板相连通。

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