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龙图腾网获悉湖南普照信息材料有限公司申请的专利一种掩膜版玻璃基底的清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116274069B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211415770.3，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种掩膜版玻璃基底的清洗方法是由吴云峰;李翼;李伟;周志刚设计研发完成，并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩膜版玻璃基底的清洗方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种掩膜版玻璃基底的清洗方法，包括对玻璃基底表面进行SPM清洗；对玻璃基底持续进行热纯水冲洗；对玻璃基底进行冷纯水冲洗；对玻璃基底进行毛刷洗剂刷洗，毛刷以顺时针旋转方式和逆时针旋转方式交替旋转；对玻璃基底再次进行冷纯水冲洗；对玻璃基底进行甩干，包括采用阶梯转速对玻璃基底进行甩干，再将玻璃基底的旋转方向逆转，提高玻璃基底的转速，直至玻璃基底上的水膜被甩干。本发明提供的掩膜版玻璃基底的清洗方法，利用热纯水冲洗，能够更有效去除SPM溶剂的残留，并采用阶梯转速甩干的方式去除玻璃基底上的水膜，提高了玻璃基底的清洗质量，增加玻璃基底与铬膜层的粘附力。

本发明授权一种掩膜版玻璃基底的清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版玻璃基底的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括： 通过SPM清洗去除玻璃基底表面的金属离子； 以多种转速旋转玻璃基底并进行持续的热纯水冲洗，所述以多种转速旋转玻璃基底具体为：以第一加速度提高玻璃基底的转速达到第一热冲洗转速，保持冲水50-100s，随后将转速降至零，再以第二加速度提高玻璃基底的转速达到第二热冲洗转速，保持冲水200-300s，所述第一加速度大于第二加速度，所述第一热冲洗转速大于第二热冲洗转速，所述玻璃基底进行持续的热纯水冲洗具体为：冲洗玻璃基底的正面和背面，冲洗背面的流量大于冲洗正面的流量，冲洗正面的流量大于2.0Lmin； 旋转玻璃基底并进行持续的冷纯水冲洗，以去除热纯水和SPM溶剂残留； 旋转玻璃基底并通过毛刷和清洗剂进行刷洗，所述旋转玻璃基底并通过毛刷和清洗剂进行刷洗具体为：所述玻璃基底以刷洗转速进行旋转，所述毛刷以顺时针旋转方式和逆时针旋转方式交替旋转，所述刷洗转速为100-150rpm，所述毛刷以顺时针旋转方式和逆时针旋转方式交替旋转具体为：毛刷对玻璃基底进行逆时针旋转清洗，逆时针旋转清洗时间为150-200s，随后对玻璃基底进行顺时针清洗，顺时针旋转清洗时间为100-200s，所述逆时针旋转清洗时间大于所述顺时针旋转清洗时间，所述毛刷逆时针旋转的转速大于毛刷顺时针旋转的转速； 旋转玻璃基底再次进行冷纯水冲洗，以去除清洗剂残留； 通过阶梯转速旋转玻璃基底进行甩干，所述通过阶梯转速旋转玻璃基底进行甩干，具体为：提高玻璃基底的转速到第一甩干转速，并保持旋转100-200s，再继续提高玻璃基底的转速到第二甩干转速，并保持旋转200-300s，随后将玻璃基底的旋转方向逆转，再提高玻璃基底的转速到第三甩干转速，并保持旋转100-150s，其中，所述第三甩干转速大于所述第二甩干转速。

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