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龙图腾网获悉上海市计量测试技术研究院;同济大学申请的专利电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115877037B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211365264.8，技术领域涉及：G01Q40/00；该发明授权电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法是由雷李华;曹程明;熊英凡;谢张宁;邓晓;程鑫彬;管钰晴;邹文哲;傅云霞设计研发完成，并于2022-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板，计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D；将一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间，使测试状态保持稳定；待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后，电子探针显微分析仪器扫描载物台上的一维光栅标准样板，对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量，得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率，根据D和L计算获得该放大倍率下的校准因子K。本发明的电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，缩短了对仪器进行校准的溯源链长度，降低了量值传递过程的误差积累，提升了不同仪器之间的校准一致性，操作方便。

本发明授权电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法在权利要求书中公布了：1.一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，其特征在于，其包括以下步骤： S1.基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板，计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D； S2.将所述一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间，使测试状态保持稳定； S3.待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后，电子探针显微分析仪器扫描载物台上的所述一维光栅标准样板，对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量，得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率； S4.计算获得电子探针显微分析仪器在该放大倍率下的校准因子K： 式中：θ为光栅线条方向与电子探针显微分析仪器扫描方向所成的夹角；N是光栅扫描距离测量值L对应的一维光栅标准样板的光栅周期数，N为正整数； S5.利用所述校准因子K，在所述放大倍率下的对电子探针显微分析仪器进行参数校准；电子探针显微分析仪器的进行校准的参数包括长度测量示值误差E1、样品台重复误差E2中的至少一种； E1＝|KL-L|N； 式中，为中心距离差值平均值。

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