株式会社日本显示器福田加一获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日本显示器申请的专利蒸镀掩模的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116103708B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211373669.6，技术领域涉及：C25D1/10；该发明授权蒸镀掩模的制造方法是由福田加一设计研发完成，并于2022-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀掩模的制造方法在说明书摘要公布了：本发明要解决的技术问题是，提供能够使开口区域的位置精度提高的蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模的制造方法中，在支承基板上隔着基底金属层形成具有规定的图案的光致抗蚀剂层，以支承基板的第一面与水平面垂直的方式配置支承基板，测量支承基板的第一翘曲量，在基底金属层中的没有形成光致抗蚀剂层的区域，通过电铸使金属析出而形成掩模主体，以支承基板的第一面与水平面垂直的方式配置支承基板，测量支承基板的第二翘曲量，根据基于第一翘曲量和第二翘曲量计算的翘曲量的变化量与基于翘曲量的变化量计算的支承基板的内部应力，计算掩模主体的收缩率。
本发明授权蒸镀掩模的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于： 在支承基板上隔着基底金属层形成具有规定的图案的光致抗蚀剂层， 以所述支承基板的第一面与水平面垂直的方式配置所述支承基板，测量所述支承基板的第一翘曲量， 在所述基底金属层中的没有形成所述光致抗蚀剂层的区域，通过电铸使金属析出而形成掩模主体， 以所述支承基板的第一面与水平面垂直的方式配置所述支承基板，测量所述支承基板的第二翘曲量， 根据基于所述第一翘曲量和所述第二翘曲量计算的翘曲量的变化量与基于所述翘曲量的变化量计算的所述支承基板的内部应力，计算所述掩模主体的收缩率， 在所述掩模主体的收缩率小于规定的范围的下限值且为第一阈值以上的情况下，或者在所述掩模主体的收缩率大于规定的范围的上限值且为第二阈值以下的情况下，与所述掩模主体的收缩率相应地，改变接下来要制造的掩模主体的所述规定的图案各自的描画坐标。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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