北京北方华创微电子装备有限公司成晓阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利阻抗匹配方法及匹配器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020182B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210724592.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权阻抗匹配方法及匹配器是由成晓阳;吴韦;陈鹏;赵晋荣设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本阻抗匹配方法及匹配器在说明书摘要公布了：本发明提供一种阻抗匹配方法及匹配器，包括：判断等离子体启辉是否成功；若否，则采用预设的启辉算法计算获得阻抗可变元件的调整方向和调整量，并根据调整方向及调整量，调节阻抗可变元件的数值；若是，则根据检测到的阻抗匹配网络的输出端的电压信号、电流信号和角度差信号，计算获得当前的负载阻抗，并根据负载阻抗，获得阻抗可变元件的目标值；根据阻抗可变元件的当前值和目标值，按多个设定步长和与每个设定步长对应的设定速度，分步调节阻抗可变元件的数值，以将负载阻抗从当前的实部值和虚部值同时调节至匹配点对应的实部值和虚部值。本发明提供的阻抗匹配方法，可以实现匹配器的稳定启辉和稳定匹配。
本发明授权阻抗匹配方法及匹配器在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配方法，应用于匹配器，所述匹配器包括由阻抗可变元件构成的阻抗匹配网络；其特征在于，所述阻抗匹配方法包括： 判断等离子体启辉是否成功； 若否，则采用预设的启辉算法计算获得所述阻抗可变元件的调整方向和调整量，并根据所述调整方向及所述调整量，调节所述阻抗可变元件的数值，然后返回所述判断等离子体启辉是否成功的步骤； 若是，则根据检测到的所述阻抗匹配网络的输出端的电压信号、电流信号和角度差信号，计算获得当前的负载阻抗，并根据所述负载阻抗，获得所述阻抗可变元件的目标值； 根据所述阻抗可变元件的当前值和所述目标值，按多个设定步长和与每个所述设定步长对应的设定速度，分步调节所述阻抗可变元件的数值，以将所述负载阻抗从当前的实部值和虚部值同时调节至匹配点对应的实部值和虚部值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号