深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种光学检测系统及图像动态对准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117110311B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210540754.0,技术领域涉及:G01N21/95;该发明授权一种光学检测系统及图像动态对准方法是由陈鲁;胡诗铭;张鹏斌;张嵩设计研发完成,并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学检测系统及图像动态对准方法在说明书摘要公布了:本申请涉及一种光学检测系统及图像动态对准方法,其中光学检测系统主要包括位移台、光源、反射镜、调节机构、光电探测器和处理单元。技术方案利用调节机构可对反射镜的姿态进行调节,如此能够对探测图像进行修正补偿,利于解决因位移台结构形变导致的图像特征相对位移的问题;在系统的检测扫描过程中,处理单元是依据探测图像在垂直于扫描方向上的偏移值,来对反射镜的平移量或偏转量进行调节,从物理光学方面进行了图像特征的位置偏移补偿,可实现同一图像特征的准确对准,从而消除位移台结构形变的影响,利于提高系统对待测件表面异常区域检出的灵敏度。
本发明授权一种光学检测系统及图像动态对准方法在权利要求书中公布了:1.一种光学检测系统,其特征在于,包括: 位移台,用于承载待测件; 光源,用于向所述位移台上承载的待测件投射照明光,所述照明光用于投射到所述待测件的表面后产生第一反射光; 反射镜,倾斜设于所述第一反射光的传输光路上,用于反射所述第一反射光以产生第二反射光,并将所述第二反射光投射到预设的探测位; 调节机构,用于通过平移所述反射镜,或者偏转所述反射镜对所述反射镜的姿态进行调节;所述反射镜在被平移调节或被偏转调节的过程中改变所述第二反射光的像点位置,其中,所述平移调节的方向与所述预设的扫描方向保持正交,所述偏转调节形成的偏转面的法线方向与所述预设的扫描方向保持一致或者平行; 光电探测器,设于所述探测位,用于沿预设的扫描方向探测所述第二反射光并产生对应的探测图像; 处理单元,用于: 从所述光电探测器获得所述探测图像; 计算所述探测图像相对于预设的标准图像,在垂直于所述光电探测器的扫描方向上的偏移值;所述标准图像为光学检测初始时刻得到的探测图像,或者为光学检测过程中一时间点得到的探测图像; 根据所述偏移值换算得到所述反射镜的姿态调节量; 根据所述姿态调节量对所述调节机构进行控制,通过改变所述反射镜的姿态对第二反射光的像点位置进行补偿,使再次探测产生的探测图像对准于所述标准图像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。