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龙图腾网获悉华东师范大学申请的专利一种具有铟保护层的二硫化铪晶体管及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114899240B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210517583.X，技术领域涉及：H10D30/67；该发明授权一种具有铟保护层的二硫化铪晶体管及其制备方法是由张金中;王强飞;姜睿琪;高照潭;胡志高;褚君浩设计研发完成，并于2022-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有铟保护层的二硫化铪晶体管及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有铟保护层的二硫化铪晶体管及其制备方法，所述晶体管以铟作为保护层，二硫化铪作为沟道。首先，通过机械剥离法使用3M思高胶带从二硫化铪块材上剥离出二硫化铪层状材料；然后，将附着有二硫化铪材料的胶带粘到黏性凝胶膜上，通过光学显微镜观察并选择厚度合适、质地均匀的二维层状材料；接着，将其转移到硅二氧化硅衬底上；再用热蒸发技术在二维材料表面蒸镀一层铟作为保护层，利用掩膜版蒸镀金属电极，由此制备所述的晶体管。本发明所用材料安全环保，成本低廉，不仅得到了光电性能好的微电子器件，还保护了沟道材料，达到了延长器件寿命的目的。

本发明授权一种具有铟保护层的二硫化铪晶体管及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有铟保护层的二硫化铪晶体管的制备方法，其特征在于，该方法包括以下具体步骤： 步骤1：制备二硫化铪沟道层 A1：二硫化铪沟道层的制备 首先选择7-8个干净的载玻片，然后将机械剥离专用的黏性凝胶膜粘贴在载玻片一角；利用3M思高胶带从二硫化铪块材上剥离出层状的二硫化铪材料，通过将粘有二硫化铪材料的3M思高胶带多次对叠再展开的过程，对二硫化铪材料进行多次剥离，将多次剥离后的二硫化铪材料粘在载玻片上的黏性凝胶膜，用手轻压数下后将3M思高胶带和黏性凝胶膜分离；把光学显微镜打开并调整感光度为ISO100，将粘有二硫化铪材料的黏性凝胶膜放在光学显微镜下进行观察；选取其中蓝色半透明，质地均匀，且长度为30-100μm的二硫化铪材料作为目标材料，目标材料所在的载玻片是目标载玻片，用小刀切去目标载玻片上多余的黏性凝胶膜后作为备用； 步骤2：二硫化铪薄膜材料的转移 B1：清洗衬底 选择表面有285-300nm厚的二氧化硅的P型重掺硅衬底，将衬底依次放在丙酮、异丙醇和去离子水中，超声清洗15-30min，然后用氮气枪将衬底表面的水渍吹净后放在盒中备用； B2：转移二硫化铪薄膜材料 使用二维材料转移系统进行转移；首先打开气瓶向转移台的气浮中充入氮气；打开转移台上显微镜的灯光和显微镜屏幕，用水平仪检查转移台微操作的X轴和Y轴是否与载物台处于水平状态，若不水平则调至水平；将步骤B1中清洗干净的衬底放在载物台上，通过光学显微镜聚焦在清洗好的衬底上，选择衬底中间干净的地方，然后打开机械泵，通过系统中的吸附装置将衬底固定，以防在转移过程中衬底移动；再将步骤A1中挑选好的目标载玻片正放，并将目标载玻片上未粘黏性凝胶膜的一端固定在载物台上；将黏性凝胶膜移到视野中，聚焦后在低倍镜下寻找目标材料；找到后通过调整Z轴旋钮使目标载玻片缓慢下移；并同时调整焦距；当屏幕中看到有波纹时放大倍镜且缓缓下移Z轴，使得黏性凝胶膜和衬底完全重合，重合后缓慢上移Z轴旋钮；直至黏性凝胶膜和衬底完全分离；如果衬底上有目标材料则转移成功，否则转移失败，需要再次转移，直到成功； 步骤3：铟保护层的制备 C1：蒸镀铟膜 将步骤B2中成功转移目标材料的衬底固定在热蒸发的样品板上，在热蒸发腔室的钨舟中放2-3颗铟颗粒，依次打开机械泵和分子泵将腔体抽真空且加电流升温至铟的熔点后，蒸镀5-10nm厚的铟膜； 步骤4：晶体管源、漏电极的制备 D1：固定掩模版 使用二维材料转移系统进行操作；首先打开气瓶向转移台的气浮中充入氮气；打开转移台的灯光和显微镜屏幕，用水平仪检查转移台微操作的X轴和Y轴是否与载物台处于水平状态，若不水平则调至水平；将步骤C1中蒸镀好铟膜的衬底放在载物台上，然后打开机械泵，通过系统中的吸附装置使其固定在载物台上，将光学显微镜聚焦在衬底上找到镀有铟膜的目标材料，再将掩膜版反放轻粘在载玻片上，将载玻片固定在载物台的一角，并聚焦到掩膜版表面调整到对准所述目标材料的方位后，通过调整Z轴旋钮使掩膜版缓慢下降，直到掩膜版完全覆盖在所述目标材料上，用手按住掩膜版缓慢调整Z轴旋钮上抬使掩膜版和载玻片分离； D2：蒸镀晶体管源、漏电极 将步骤D1中固定有掩模版的衬底固定到热蒸发镀膜仪顶部的样品板上，将2-3颗金颗粒放在腔室的钨舟里，接着打开机械泵和分子泵将腔室抽至真空态；蒸镀厚度为35-60nm的源、漏金属电极；至此，制得所述具有铟保护层的二硫化铪晶体管。

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