东京毅力科创株式会社新藤健弘获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利输送基片的装置、处理基片的系统和输送基片的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649246B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111499716.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权输送基片的装置、处理基片的系统和输送基片的方法是由新藤健弘;高桥明;堀内孝;儿玉俊昭设计研发完成，并于2021-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本输送基片的装置、处理基片的系统和输送基片的方法在说明书摘要公布了：本发明提供输送基片的装置、处理基片的系统和输送基片的方法，能够调节叉形部件的倾斜。基片输送装置包括：末端执行器，其具有保持基片的叉形部件和保持叉形部件的根端部的腕部；以及臂，其能够安装末端执行器并具有使叉形部件移动的机构，在基片输送装置的保持叉形部件的根端部的腕部与臂之间具有调节叉形部件的倾斜的倾斜调节机构，该倾斜调节机构包括：用于从下表面侧支承腕部的3个支承销；使这些支承销的上端的高度位置彼此相对地变化的高度调节部；和被设置成将叉形部件向支承销一侧牵引的牵引销。
本发明授权输送基片的装置、处理基片的系统和输送基片的方法在权利要求书中公布了：1.一种输送基片的装置，其特征在于，包括： 末端执行器，其具有用于保持所述基片的叉形部件和用于保持该叉形部件的根端部的腕部； 臂，其能够安装所述末端执行器，具有用于使所述叉形部件移动的机构；以及 倾斜调节机构，其设置在所述叉形部件与所述腕部之间、或者所述腕部与所述臂之间，用于调节所述叉形部件的倾斜， 所述倾斜调节机构包括： 3根支承销，该3根支承销是为了从下表面侧支承所述叉形部件或所述腕部而设置的，分别配置在俯视时形成三角形的顶点的位置； 高度调节部，其能够使所述3根支承销的上端的高度位置彼此相对地变化；和 牵引销，其为了维持各所述支承销的上端与所述叉形部件或所述腕部的下表面接触的状态而配置在所述三角形的内侧，被设置成能够将所述叉形部件向所述支承销一侧牵引， 所述倾斜调节机构构成为能够一边利用所述牵引销将所述叉形部件向所述3根支承销一侧牵引，一边使所述3根支承销的上端的高度位置彼此相对地变化，由此在维持所述3根支承销的上端与所述叉形部件或所述腕部的下表面接触的状态的同时，调节所述叉形部件的倾斜。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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