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龙图腾网获悉苏州源卓光电科技有限公司申请的专利一种直写式光刻系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116224717B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111466602.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种直写式光刻系统是由刘栋;胡传武;张雷设计研发完成，并于2021-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种直写式光刻系统在说明书摘要公布了：本发明提出一种直写式光刻系统，包括：光源模块，配置为产生曝光用光束，运动平台模块，配置为吸附工件并带动其运动至所需位置，对位检测模块，配置为用于工件对准和系统异常判断，光刻镜头模块，配置为产上图形光束，控制模块，配置为控制前述多个模块，其中，光刻镜头模块的多个光刻镜头分为N排，每排的光刻镜头数量相同，每排光刻镜头之间的距离D根据吸盘台面沿扫描方向的长度L确定，通过光刻镜头分隔为多排的形式达到减小系统结构尺寸的效果。

本发明授权一种直写式光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种直写式光刻系统，其特征在于， 包括： 光源模块，配置为产生曝光用光束； 运动平台模块，包括吸盘台面和运动组件，配置为通过所述吸盘台面吸附待曝光的工件并由所述运动组件带动其运动至所需位置； 对位检测模块，配置为对所述待曝光的工件进行位置对准以及用于所述直写式光刻系统的异常判断； 光刻镜头模块，包括多个光刻镜头，配置为将所述光源模块产生的光束调制为图形光投射到所述待曝光的工件表面完成曝光； 控制模块，配置为控制所述光源模块、所述运动平台模块、所述对位检测模块以及所述光刻镜头模块； 其中，所述多个光刻镜头分为N排，N取大于1的整数，每排光刻镜头数量相同，每排光刻镜头之间的距离D根据所述吸盘台面沿扫描方向的长度L确定，具体为D=LN； 所述运动平台模块包括两组吸盘台面和对应的运动组件，两组所述吸盘台面的初始位置位于所述多个光刻镜头的同一侧或分别对称设于所述多个光刻镜头的两侧； 所述对位检测模块包括多个视觉识别组件，所述多个视觉识别组件在曝光前拍摄对准图像用于所述待曝光工件的位置对准，在曝光后拍摄校准图像用于所述直写式光刻系统的异常判断；所述多个视觉识别组件以N排形式排列，每排所述视觉识别组件之间的距离与每排所述光刻镜头之间的距离相等； 所述两组吸盘台面被配置为：一组所述吸盘台面上的工件进行曝光时不影响另一组所述吸盘台面上的工件同步进行位置对准；一组所述吸盘台面上的工件开始进行曝光时不会影响到另一组所述吸盘台面曝光完成后回退进行异常检测；相邻的所述视觉识别组件与所述光刻镜头之间的距离D1根据吸盘台面沿扫描方向的长度L确定,具体为D1=2LN。

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