广东省大湾区集成电路与系统应用研究院吁卫东获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请的专利显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114035409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111388897.6，技术领域涉及：G03F7/30；该发明授权显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备是由吁卫东;韦亚一;杨尚设计研发完成，并于2021-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备。该显影震荡装置包括震荡控制装置以及两两连接的计算控制装置、水平探测装置和机械臂；震荡控制装置用于控制机械臂运动的速度、频率及方向；水平探测装置用于获取印制电路板基板的偏移数据，将偏移数据发送给计算控制装置，并在计算控制装置的控制下调整机械臂的位姿参数；计算控制装置用于根据偏移数据计算出水平探测装置的调整参数，基于调整参数控制水平探测装置调整机械臂的位姿参数。本申请的显影震荡装置能够通过控制机械臂的运动的频率与速度调整基板在显影液中的震荡参数，改善印制电路板在生产过程中由于光的衍射、漫反射等效应所导致的图像边缘有毛边的缺陷。
本发明授权显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种显影震荡装置，其特征在于，包括震荡控制装置以及两两连接的计算控制装置、水平探测装置和机械臂； 所述机械臂用于抓取印制电路板基板以及将所述印制电路板基板浸入显影液进行处理； 所述震荡控制装置与所述机械臂电连接，所述震荡控制装置用于控制所述机械臂运动的速度、频率以及方向； 所述水平探测装置用于获取所述印制电路板基板的偏移数据，将所述偏移数据发送给所述计算控制装置，并在所述计算控制装置的控制下调整所述机械臂的位姿参数； 所述计算控制装置用于根据所述偏移数据计算出所述水平探测装置的调整参数，基于所述调整参数控制所述水平探测装置调整所述机械臂的位姿参数； 所述震荡控制装置包括互相连接的延时控制装置和电磁控制开关装置； 所述电磁控制开关装置与所述机械臂电连接，所述电磁控制开关装置用于控制所述机械臂沿水平方向运动； 所述延时控制装置用于基于预设频率通过所述电磁控制开关装置控制所述机械臂运动的速度和频率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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