细美事有限公司严基象获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114530394B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111360694.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的设备是由严基象;崔晋镐;丁宣旭;崔炳斗;安熙满;金是殷设计研发完成，并于2021-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于处理基板的设备，该设备包括：处理容器，该处理容器具有内部空间；支承单元，该支承单元在内部空间中支承和旋转基板；以及排放单元，该排放单元释放内部空间中的气流。排放单元包括气流引导管道，气流在相对于支承于支承单元上的基板的旋转方向的切向方向上被引入到该气流引导管道中。
本发明授权用于处理基板的设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括： 处理容器，所述处理容器具有内部空间； 支承单元，所述支承单元配置为在所述内部空间中支承和旋转所述基板；以及 排放单元，所述排放单元配置为释放所述内部空间中的气流， 其中，所述排放单元包括气流引导管道，所述气流在相对于支承在所述支承单元上的所述基板的旋转方向的切向方向上被引入到所述气流引导管道中， 其中，所述支承单元包括： 支承板，所述支承板配置为支承所述基板； 旋转轴，所述旋转轴配置为旋转所述支承板； 其中，所述处理容器包括： 外杯状物，所述外杯状物配置为提供所述内部空间；和 内杯状物，所述内杯状物设置在所述内部空间中，以便与所述外杯状物间隔开，所述内杯状物配置为围绕所述旋转轴， 其中，至少部分所述气流引导管道由引导板限定，其中，所述引导板包括内部边缘和外部边缘，所述内部边缘比所述外部边缘更靠近所述支承单元的所述旋转轴，所述引导板具有从所述内部边缘到所述外部边缘的向下倾斜， 其中，所述引导板为螺旋形引导板，所述气流引导管道由所述外杯状物、所述内杯状物和所述螺旋形引导板围绕的空间所限定。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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