平面度科技(苏州)有限公司解小青获国家专利权
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龙图腾网获悉平面度科技(苏州)有限公司申请的专利一种UV解胶机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114464559B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210183645.8,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种UV解胶机是由解小青设计研发完成,并于2021-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种UV解胶机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种UV解胶机,涉及解胶机技术领域,包括外部壳体和设置在外部壳体底部四角处的支撑组件和滚轮组件,所述外部壳体包括位于左上侧的晶圆放置箱、位于右上侧的放置晶圆提篮的提篮主箱、位于右下侧的使晶圆提篮升降的晶圆次箱、位于左下侧的用于晶圆解胶的解胶箱,所述晶圆放置箱、提篮主箱、晶圆次箱和解胶箱顺序连通,所述晶圆放置箱内设置有用于放置晶圆的晶圆箱,所述提篮主箱内设置有晶圆提篮、安装架、设置在安装架上且能调整放置晶圆提篮距离的调整架、设置在安装架上且能沿安装架水平移动到晶圆箱内拾取晶圆的机械抓手组件;本发明设计合理,具有集成度高、解胶效果好,工作效率高的优点。
本发明授权一种UV解胶机在权利要求书中公布了:1.一种UV解胶机,包括外部壳体和设置在外部壳体底部四角处的支撑组件(6)和滚轮组件(7),其特征在于,所述外部壳体包括位于左上侧的晶圆放置箱(4)、位于右上侧的放置晶圆提篮的提篮主箱(2)、位于右下侧的使晶圆提篮升降的晶圆次箱(1)、位于左下侧的用于晶圆解胶的解胶箱(5),所述晶圆放置箱(4)、提篮主箱(2)、晶圆次箱(1)和解胶箱(5)顺序连通,所述晶圆放置箱(4)内设置有用于放置晶圆的晶圆箱(4-3),所述提篮主箱(2)内设置有晶圆提篮(2-2)、安装架(2-5)、设置在安装架(2-5)上且能调整放置晶圆提篮(2-2)距离的调整架(2-1)、设置在安装架(2-5)上且能沿安装架(2-5)水平移动到晶圆箱(4-3)内拾取晶圆的机械抓手组件(2-3); 所述晶圆次箱(1)内设置有直线升降机构(1-1),直线升降机构(1-1)顶部与调整架(2-1)底部连接,所述直线升降机构(1-1)为升降气缸; 所述解胶箱(5)内设置有隔板(5-1),所述隔板(5-1)中部镶嵌有圆盘状的石英玻璃(5-3),所述隔板(5-1)上还设置有位于石英玻璃(5-3)两侧的晶圆提篮A(5-2),所述隔板(5-1)上还设置有一对用于调整晶圆提篮A(5-2)间距的调整机构A(5-5),所述隔板(5-1)下方设置有用于对准石英玻璃(5-3)的UV灯管组件(5-6)。
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