佳能株式会社大豆生田吉广获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114326319B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111147421.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法是由大豆生田吉广设计研发完成，并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法。提供有利于降低第1载置台与第2载置台产生干扰的可能性的技术。一种载置台装置，具备：第1载置台，能够移动；第2载置台，能够在所述第1载置台之上移动；以及控制部，将所述第2载置台相对于所述第1载置台的倾斜量控制成目标倾斜量，在所述载置台装置中，所述控制部根据所述第1载置台的移动区间来设定所述目标倾斜量而控制所述倾斜量。
本发明授权载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种载置台装置，其特征在于，具备： 第1载置台，能够移动； 第2载置台，能够在所述第1载置台之上移动；以及 控制部，将所述第2载置台相对于所述第1载置台的倾斜量控制成目标倾斜量， 所述控制部根据所述第1载置台的移动状态来设定所述目标倾斜量而控制所述倾斜量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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