东京毅力科创株式会社深泽贵光获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利输送装置和机械臂的示教方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114256116B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111067797.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权输送装置和机械臂的示教方法是由深泽贵光;金丸亮介设计研发完成，并于2021-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本输送装置和机械臂的示教方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够高精度地进行机械臂的示教的输送装置和机械臂的示教方法。输送装置包括：具有臂和使臂旋转的驱动部的机械臂、第一照射部、第一受光部以及控制装置。控制装置执行步骤a～步骤c。在步骤a中，检测从第一照射部照射的光的第一光路不被臂遮挡的状态变化为第一光路被遮挡的状态时的臂的第一回旋角。在步骤b中，检测从第一光路被臂遮挡的状态变化为第一光路不被臂遮挡的状态时的臂的第二旋转角度。在步骤c中，基于通过了第一光路的部分的机械臂的宽度、第一光路被遮挡时的第一光路与臂的第一交点的位置、第一旋转角度和第二旋转角度，确定臂的第一旋转轴的位置。
本发明授权输送装置和机械臂的示教方法在权利要求书中公布了：1.一种输送基片的输送装置，其特征在于，包括： 机械臂，其具有输送所述基片的臂和使所述臂旋转的驱动部； 沿着第一光路照射光的第一照射部； 接收从所述第一照射部照射的光的第一受光部；以及 控制装置，其控制所述驱动部以使所述臂横穿所述第一光路地旋转， 所述控制装置执行如下步骤： 步骤a基于从所述第一照射部照射的光是否被所述第一受光部接收到，检测从所述第一光路不被所述臂遮挡的状态变化为所述第一光路被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第一旋转角度； 步骤b基于从所述第一照射部照射的光是否被所述第一受光部接收到，检测从所述第一光路被所述臂遮挡的状态变化为所述第一光路不被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第二旋转角度；以及 步骤c基于通过了所述第一光路的所述臂的部分的宽度、所述第一光路被遮挡时的所述第一光路与所述臂的第一交点的位置、所述第一旋转角度和所述第二旋转角度，确定所述臂的第一旋转轴的位置， 所述控制装置控制所述驱动部，以使外形的宽度一定的所述臂的部分横穿从所述第一照射部照射的光的第一光路地旋转。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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