佳能株式会社矢田裕纪获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利光源装置、曝光装置以及物品的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114137798B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111008083.5,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权光源装置、曝光装置以及物品的制造方法是由矢田裕纪;昼间健太郎;中山周吾设计研发完成,并于2021-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本光源装置、曝光装置以及物品的制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光源装置、曝光装置以及物品的制造方法。降低反射镜内的温度梯度。光源装置具有:发光部;反射镜,反射来自所述发光部的光;保持部件,保持所述反射镜;以及基座,固定所述保持部件,所述保持部件与所述基座接触的接触面积小于所述保持部件与所述反射镜接触的接触面积。
本发明授权光源装置、曝光装置以及物品的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种光源装置,其特征在于,具有: 发光部; 反射镜,反射来自所述发光部的光; 保持部件,保持所述反射镜;以及 基座,固定所述保持部件, 所述保持部件与所述基座接触的接触面积小于所述保持部件与所述反射镜接触的接触面积, 所述保持部件的材质是热传导率比所述基座低的材质。
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