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龙图腾网获悉清华大学;华海清科股份有限公司申请的专利一种膜厚测量方法和化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113471094B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110895311.9，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种膜厚测量方法和化学机械抛光设备是由王成鑫;王同庆;田芳馨;侯映红;路新春设计研发完成，并于2021-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种膜厚测量方法和化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种膜厚测量方法和化学机械抛光设备，其中，方法包括：获取膜厚测量装置距金属薄膜的距离和金属薄膜的材质；根据所述距离和材质，确定相应的标定曲线，所述标定曲线用于表征膜厚测量装置的输出信号与膜厚之间的映射关系；实时获取所述膜厚测量装置的输出信号；根据所述标定曲线和所述输出信号，得到当前的金属薄膜的膜厚。

本发明授权一种膜厚测量方法和化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种膜厚测量方法，其特征在于，包括： 获取膜厚测量装置距金属薄膜的距离和金属薄膜的材质； 根据所述距离和材质，确定相应的标定曲线，所述标定曲线用于表征膜厚测量装置的输出信号与膜厚之间的映射关系； 实时获取所述膜厚测量装置的输出信号； 根据所述标定曲线和所述输出信号，得到当前的金属薄膜的膜厚； 所述膜厚测量装置包括传感器、信号发生电路和鉴频器； 所述的膜厚测量方法还包括以下标定曲线获取步骤： 获取所述传感器距金属薄膜的安装距离； 通过所述信号发生电路向传感器输入一定频率范围的等幅调频电流信号； 通过所述鉴频器对等幅调频电流信号和传感器等效回路两端输出的电压幅值进行频率-振幅变换，得到电压幅值最大时所对应的频率，即为谐振频率； 使用膜厚测量装置探测不同膜厚的金属薄膜，获取不同膜厚对应的谐振频率，其中，金属薄膜的膜厚和材质已知； 根据谐振频率计算得到等效电感，拟合得到电感-膜厚标定曲线，所述电感-膜厚标定曲线即为在该安装距离的提离高度下、该材质金属薄膜的标定曲线； 所述根据所述标定曲线和所述输出信号，得到当前的金属薄膜的膜厚，包括： 通过信号发生电路向传感器输入一定频率范围的等幅调频电流信号； 通过鉴频器对等幅调频电流信号和传感器等效回路两端输出的电压幅值进行频率-振幅变换，得到电压幅值最大时所对应的频率； 根据所述电压幅值最大时所对应的频率，计算得到对应的等效电感； 根据所述等效电感和所述电感-膜厚标定曲线，计算得到当前的金属薄膜的膜厚。

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