志圣科技(广州)有限公司陈明宗获国家专利权
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龙图腾网获悉志圣科技(广州)有限公司申请的专利基板整平装置及整平治具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110823846.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板整平装置及整平治具是由陈明宗;杨佳裕;赖家伟;霍正邦设计研发完成，并于2021-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板整平装置及整平治具在说明书摘要公布了：关于一种基板整平装置，包含机械工作臂以及整平治具，且整平治具可相对机械工作臂垂直活动。整平治具包含主体、多个压平单元以及对准单元。主体设置于机械工作臂，且主体具有观察窗口。压平单元相间隔地设置于主体的周边区域。对准单元设置于主体，且对准单元对应观察窗口。
本发明授权基板整平装置及整平治具在权利要求书中公布了：1.一种基板整平装置，其特征在于，包含： 至少一机械工作臂；以及 整平治具，可相对该至少一机械工作臂垂直活动，该整平治具包含： 主体，设置于该至少一机械工作臂，且该主体具有观察窗口； 多个压平单元，相间隔地设置于该主体的周边区域；以及 对准单元，设置于该主体，且该对准单元对应该观察窗口； 其中该整平治具的该主体具有至少一导柱，该至少一机械工作臂具有穿槽，且该至少一导柱设置于该穿槽内； 其中该至少一机械工作臂将该整平治具移动到基板上方，接着该至少一机械工作臂垂直下降让该整平治具实体接触到该基板表面，该至少一机械工作臂持续垂直下降，则该整平治具将不再被该至少一机械工作臂支撑，该整平治具自身的重量施加在该基板发生翘曲的位置，进而令该翘曲的位置被压平。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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