株式会社爱发科若井雅文获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社爱发科申请的专利金属布线结构体、金属布线结构体的制造方法及溅射靶获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115485818B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180032239.5，技术领域涉及：H01L21/3205；该发明授权金属布线结构体、金属布线结构体的制造方法及溅射靶是由若井雅文;半那拓;中台保夫;中村亮太设计研发完成，并于2021-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属布线结构体、金属布线结构体的制造方法及溅射靶在说明书摘要公布了：本发明提供一种低电阻且耐热性、弯曲性优异的金属布线结构体和金属布线结构体的制造方法。为了实现上述目的，金属布线结构体具有：金属布线膜，其具有由铝构成的主成分和添加在上述主成分中的包含0.005at％以上且0.88at％以下的铁的添加元素；以及第一覆盖层，其层叠在上述金属布线膜。如果是这种金属布线结构体，则可提供一种低电阻且耐热性、弯曲性优异的金属布线结构体。
本发明授权金属布线结构体、金属布线结构体的制造方法及溅射靶在权利要求书中公布了：1.一种金属布线结构体，其具有： 金属布线膜，其具有由铝构成的主成分和添加在所述主成分中的包含0.005at％以上且0.88at％以下的铁和0.01at％以上且0.05at％以下的钒的添加元素；以及 第一覆盖层，其由TiN、MoN、WN、TaN、Ti、Mo、W或Ta构成，层叠在所述金属布线膜。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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