应用材料公司V·D·帕科获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有内部通道的半导体基板支撑件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115362541B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180026040.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权具有内部通道的半导体基板支撑件是由V·D·帕科设计研发完成，并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有内部通道的半导体基板支撑件在说明书摘要公布了：一种示例性基板支撑组件可包括限定基板支撑表面的静电夹盘主体。支撑组件可包括与静电夹盘主体耦合的支撑杆。支撑组件可包括电极，所述电极靠近基板支撑表面嵌入在静电夹盘主体内。支撑组件可包括嵌入在静电夹盘主体内的接地电极。支撑组件可包括形成在电极与接地电极之间的静电夹盘主体内的一个或多个通道。
本发明授权具有内部通道的半导体基板支撑件在权利要求书中公布了：1.一种基板支撑组件，包含： 静电夹盘主体，所述静电夹盘主体限定基板支撑表面； 支撑杆，所述支撑杆与所述静电夹盘主体耦合； 电极，所述电极靠近所述基板支撑表面嵌入在所述静电夹盘主体内； 接地电极，所述接地电极嵌入在所述静电夹盘主体内； 加热器，所述加热器嵌入在所述电极和所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内；以及 一个或多个通道，所述一个或多个通道形成在所述电极与所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内，其中： 所述一个或多个通道中的每一个与所述基板支撑表面流体隔离；并且 所述一个或多个通道中的第一通道形成在所述接地电极和所述加热器之间的所述静电夹盘主体内。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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