东京毅力科创株式会社河村浩司获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置和构件温度判定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113299530B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110172174.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置和构件温度判定方法是由河村浩司设计研发完成，并于2021-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置和构件温度判定方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体处理装置和构件温度判定方法，高精度地判定处理容器内的构件的温度是否饱和。等离子体处理装置具有处理容器和电极，该等离子体处理装置还具有：预处理部，其构成为执行使等离子体点火来使处理容器内的构件的温度上升的预处理；功率施加部，其构成为在执行预处理后，以不使等离子体点火的方式向电极施加RF功率；测定部，其构成为测定与通过功率施加部施加的RF功率有关的物理量；以及判定部，其构成为基于通过测定部测定出的与RF功率有关的物理量，来判定处理容器内的构件的温度是否饱和。
本发明授权等离子体处理装置和构件温度判定方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，具有处理容器和电极，所述等离子体处理装置还具有： 预处理部，其构成为执行使等离子体点火来使所述处理容器内的构件的温度上升的预处理； 功率施加部，其构成为在执行所述预处理后以不使等离子体点火的方式向所述电极施加射频功率； 测定部，其构成为测定与通过所述功率施加部施加的所述射频功率有关的物理量；以及 判定部，其构成为基于通过所述测定部测定出的与所述射频功率有关的物理量来判定所述处理容器内的构件的温度是否饱和， 与所述射频功率有关的物理量为以下物理量中的至少任一个物理量：射频电压、射频电流、射频功率与射频电流的相位差、阻抗、从尚未执行所述预处理的初始状态起的射频电压的变化量、从尚未执行所述预处理的初始状态起的射频电流的变化量、从尚未执行所述预处理的初始状态起的射频功率与射频电流的相位差的变化量、以及从尚未执行所述预处理的初始状态起的阻抗的变化量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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