ASML荷兰有限公司M·库伊曼获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利多步骤过程检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115087930B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180013679.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权多步骤过程检查方法是由M·库伊曼设计研发完成，并于2021-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本多步骤过程检查方法在说明书摘要公布了：一种用于标识由多步骤过程形成的特征的阵列的一部分的图像中的特征的图像分析方法，该方法包括：分析图像中可见的特征的变化；以及至少部分基于分析的结果，将图像的特征与多步骤过程的步骤相关联。
本发明授权多步骤过程检查方法在权利要求书中公布了：1.一种图像分析方法，用于标识通过多步骤过程形成的特征的阵列的一部分的图像中的特征，所述方法包括： 分析所述图像中包含或指示的特征的变化，并分析所述阵列的不同特征的所述变化之间的相关性； 至少部分基于所述分析的结果，将所述图像的特征与所述多步骤过程的步骤相关联；以及 基于所述相关性，确定所述多步骤过程中导致缺陷产生的步骤。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号