东京毅力科创株式会社中野征二获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利回收机构、基板处理装置以及回收方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981930B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180009301.9，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权回收机构、基板处理装置以及回收方法是由中野征二;山胁阳平设计研发完成，并于2021-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本回收机构、基板处理装置以及回收方法在说明书摘要公布了：一种回收机构，其是在周缘去除机构中去除了的基板的周缘部的回收机构，该回收机构具备：排出部，其将对去除了的所述周缘部进行回收的回收部与所述周缘去除机构连接；以及路径切换部，其构成为能够切换所述排出部中的所述周缘部的排出路径。
本发明授权回收机构、基板处理装置以及回收方法在权利要求书中公布了：1.一种回收机构，其是在周缘去除机构中去除了的基板的周缘部的回收机构，其中， 该回收机构具备： 回收部，其对去除了的所述周缘部进行回收，所述回收部具有回收箱，该回收箱在内部积存所述周缘部； 排出部，其将所述回收部与所述周缘去除机构连接，其中所述排出部中包括用于暂时保管去除了的所述周缘部的缓冲空间；以及 路径切换部，其构成为能够切换所述排出部中的所述周缘部的排出路径， 其中，在所述回收箱相对于所述回收部安装时，所述路径切换部开放以使去除了的所述周缘部回收于所述回收箱，在所述回收箱相对于所述回收部拆卸时，所述路径切换部封闭，以使去除了的所述周缘部暂时保管于所述缓冲空间中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号