科米特技术美国股份有限公司S·E·萨瓦斯获国家专利权
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龙图腾网获悉科米特技术美国股份有限公司申请的专利电磁波的宽带传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114930494B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008629.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权电磁波的宽带传感器是由S·E·萨瓦斯;A·德尚布里耶设计研发完成，并于2021-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本电磁波的宽带传感器在说明书摘要公布了：一种用于射频等离子体处理系统的宽带传感器，包括部署在反应室的导电部件上的用于电势的电容拾取器。以及，包括电路的引线，所述引线将所述拾取器连接到连接器，所述连接器安装在接近所述拾取器的电接地板中，所述电路的电阻和对所述连接器的电气地的电容使得拾取器电压与所述导电部件的表面电压相差小于5％；和衰减器电路，连接到所述连接器，包括从衰减器输入端到衰减器输出端串联的至少一个限流电阻器，其中，所述宽带传感器在从大约10kHz到至少大约1GHz的射频范围内进行检测，用于所述射频等离子体处理系统中的射频电势测量。
本发明授权电磁波的宽带传感器在权利要求书中公布了：1.一组用于具有反应室的射频等离子体处理系统的宽带传感器，用于测量射频等离子体处理系统的射频等离子体波的基波和谐波的振幅和相位，该组宽带传感器在反应室的对称轴周围设置，每个宽带传感器包括： 所述反应室中的用于感测表面电流的电感拾取器，所述电感拾取器包括形成为环路的导线； 引线，连接到所述电感拾取器和包括延伸通过所述反应室的壁的真空馈通件的连接器； 衰减器电路，包括与所述引线内联连接的电阻桥以及信号载体；以及 其中，所述宽带传感器围绕所述反应室设置，并且具有在从10kHz到1GHz的射频范围内的检测能力，用于所述射频等离子体处理系统中的射频电势测量。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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