塔斯米特株式会社冈本阳介获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉塔斯米特株式会社申请的专利图案边缘检测方法、图案边缘检测装置、记录有用于让计算机执行图案边缘检测的程序的记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114945801B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080092004.0，技术领域涉及：G01B15/04；该发明授权图案边缘检测方法、图案边缘检测装置、记录有用于让计算机执行图案边缘检测的程序的记录介质是由冈本阳介设计研发完成，并于2020-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案边缘检测方法、图案边缘检测装置、记录有用于让计算机执行图案边缘检测的程序的记录介质在说明书摘要公布了：本发明涉及从由扫描电子显微镜生成的图像中检测与半导体制造有关的在晶圆或掩膜等工件上形成的图案的边缘轮廓线的方法。图案边缘检测方法中，生成在工件上形成的目标图案的对象图像，生成表示对象图像的各像素的多个特征量的特征向量，将特征向量输入至通过机器学习构建出的模型，从模型输出表示具有特征向量的像素为边缘的像素还是非边缘的像素的判定结果，将得到了表示边缘的像素的判定结果的具有特征向量的多个像素以线相连来生成假想边缘。
本发明授权图案边缘检测方法、图案边缘检测装置、记录有用于让计算机执行图案边缘检测的程序的记录介质在权利要求书中公布了：1.一种图案边缘检测方法，其特征在于， 生成在工件上形成的目标图案的对象图像， 生成表示所述对象图像的各像素的多个特征量的特征向量， 将所述特征向量输入至通过机器学习构建出的模型， 从所述模型输出表示具有所述特征向量的像素为边缘的像素还是非边缘的像素的判定结果， 将得到了表示边缘的像素的判定结果的具有特征向量的多个像素以线相连来生成假想边缘， 生成沿着相对于所述假想边缘而沿法线方向延伸的多条探索线的所述对象图像的多个亮度曲线， 根据多个所述亮度曲线来决定多个边缘点， 将所述多个边缘点以线相连，由此生成更新后的边缘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人塔斯米特株式会社，其通讯地址为：日本神奈川县横浜市港北区新横浜二丁目6番23号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号