原子能与替代能源委员会诺伯特·穆西获国家专利权
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龙图腾网获悉原子能与替代能源委员会申请的专利包括SPAD光电二极管的图像传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112951857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011301723.7,技术领域涉及:H10F39/18;该发明授权包括SPAD光电二极管的图像传感器是由诺伯特·穆西;塞德里克·吉鲁加朗波;奥利维尔·萨克斯奥德设计研发完成,并于2020-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本包括SPAD光电二极管的图像传感器在说明书摘要公布了:本公开涉及一种图像传感器,所述图像传感器包括多个雪崩光电二极管,所述多个雪崩光电二极管具有形成在具有正面和背面的、第一导电类型的半导体基板101的内部和顶部,其中:‑在基板101中从其正面垂直延伸到其背面的沟槽107,所述沟槽107在顶视图中具有横向界定多个基板岛109的连续网格的形状,每个岛109限定像素PIX,所述像素PIX包括单个可单独控制的雪崩光电二极管,并且包括像素光电二极管的雪崩信号的收集的掺杂区域119。
本发明授权包括SPAD光电二极管的图像传感器在权利要求书中公布了:1.一种图像传感器,所述图像传感器包括多个雪崩光电二极管,所述多个雪崩光电二极管具有形成在具有正面和背面的、第一导电类型的半导体基板(101)的内部和顶部的垂直PN结,其中: -在基板(101)中从其正面垂直延伸到其背面的沟槽(107),所述沟槽(107)在顶视图中具有横向界定多个基板岛(109)的连续网格的形状,每个岛(109)限定像素(PIX),所述像素(PIX)包括单个可单独控制的具有垂直PN结的雪崩光电二极管,并且包括所述像素光电二极管的雪崩信号的收集的掺杂区域(119); -沟槽(107)的侧壁和底部被涂布第一掺杂多晶硅的半导体层(113),所述第一掺杂多晶硅的半导体层(113)具有与收集区域的导电类型相反的导电类型;并且 -导电区域(115)在所述沟槽中延伸,所述导电区域(115)与第一掺杂多晶硅的半导体层(113)的与所述基板(101)相对的表面接触,所述导电区域(115)形成连续的导电网格,将所有的雪崩光电二极管的阳极区域或阴极区域彼此电连接;以及 -第一掺杂多晶硅的半导体层(113)的导电类型与基板的导电类型相反,基板(101)的每个岛(109)的侧表面与第一掺杂多晶硅的半导体层(113)之间的结限定传感器的雪崩光电二极管的雪崩区域。
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