台湾积体电路制造股份有限公司王俊杰获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利栅极结构、半导体器件及其形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112310200B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010711928.6,技术领域涉及:H10D64/27;该发明授权栅极结构、半导体器件及其形成方法是由王俊杰;叶升韦;白岳青;杨淇任设计研发完成,并于2020-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本栅极结构、半导体器件及其形成方法在说明书摘要公布了:提供一种栅极结构和一种形成栅极结构的方法。栅极结构包含栅极介电层、金属层以及簇层。金属层安置在栅极介电层上方。簇层包夹在金属层与栅极介电层之间,其中簇层至少包含非晶硅层、非晶碳层或非晶锗层。另外,提供一种包含栅极结构的半导体器件。
本发明授权栅极结构、半导体器件及其形成方法在权利要求书中公布了:1.一种栅极结构,包括: 金属层,安置在栅极介电层上方; 簇层,包夹在所述金属层与所述栅极介电层之间,其中所述簇层至少包括功函数金属层、阻障层、粘合层以及顶盖层;以及 氮氧化钛层,安置在所述金属层与所述簇层之间。
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