应用材料公司T·A·恩古耶获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于斜面蚀刻腔室的加热器支撑套件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114026673B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080044306.0，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权用于斜面蚀刻腔室的加热器支撑套件是由T·A·恩古耶;J·李;A·M·帕特尔;A·A·哈贾设计研发完成，并于2020-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于斜面蚀刻腔室的加热器支撑套件在说明书摘要公布了：本文描述的实施例总体涉及用于处理基板的设备。在一个或多个实施例中，一种加热器支撑套件包括：加热器组件，所述加热器组件含有具有上表面和下表面的加热器板；卡环，所述卡环设置在所述加热器板的所述上表面的至少一部分上；加热器臂组件，所述加热器臂组件含有加热器臂并且支撑所述加热器组件；和加热器支撑板，所述加热器支撑板设置在所述加热器板与所述加热器臂之间并且与所述加热器板的所述下表面的至少一部分接触。
本发明授权用于斜面蚀刻腔室的加热器支撑套件在权利要求书中公布了：1.一种加热器支撑套件，包括： 加热器组件，所述加热器组件包括具有上表面和下表面的加热器板； 卡环，所述卡环设置在所述加热器板的所述上表面的至少一部分上； 加热器臂组件，所述加热器臂组件包括加热器臂，所述加热器臂组件与所述加热器板的所述下表面的至少一部分接触，并且支撑所述加热器组件；和 加热器支撑板，所述加热器支撑板设置在所述加热器板与所述加热器臂之间，并且与所述加热器板的所述下表面的至少一部分接触。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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