应用材料公司J·罗杰斯获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利电感耦合等离子体源的改进获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116053108B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310233275.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权电感耦合等离子体源的改进是由J·罗杰斯;J·普洛斯设计研发完成，并于2018-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本电感耦合等离子体源的改进在说明书摘要公布了：本文公开一种用于使用电感耦合等离子体源来处理基板的设备。电感耦合等离子体源利用功率源、屏蔽构件以及耦合到功率源的线圈。在某些实施例中，线圈与水平螺旋群组以及垂直延伸的螺旋群组布置在一起。根据某些实施例，屏蔽构件利用接地构件来用作法拉第屏蔽。本文的实施例减少了由基板处理系统中的电感耦合等离子体所产生的等离子体中的寄生损失以及不稳定性。
本发明授权电感耦合等离子体源的改进在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，包括： 顶板； 线圈，所述线圈包括内线圈和外线圈，其中所述外线圈设置在第一平面内，所述内线圈包括： 所述内线圈的第一区段，在所述第一平面内并且耦合至所述外线圈；以及 串联耦合至所述第一区段的第二区段，其中所述第二区段以将所述第一区段延伸出所述第一平面并且在所述内线圈的内径处终止的垂直布置来配置，并且所述第二区段由所述第一区段与所述外线圈分离；以及 耦合至所述顶板的内支柱和外支柱，其中所述内线圈由所述内支柱支撑并且所述外线圈由所述外支柱支撑，其中所述内支柱和所述外支柱从所述顶板延伸以支撑所述线圈远离所述顶板。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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