南通咸昌新材料科技有限公司张锋获国家专利权
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龙图腾网获悉南通咸昌新材料科技有限公司申请的专利一种（111）晶向锑化铟晶片的表面清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120527222B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511021331.8，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种（111）晶向锑化铟晶片的表面清洗方法是由张锋;王怀利;谢月林设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种（111）晶向锑化铟晶片的表面清洗方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种（111）晶向锑化铟晶片的表面清洗方法，通过含有表面活性剂的溶液预清洗晶片表面，冲洗后再将晶片浸没于双氧水、氨水与水的混合溶液中进行腐蚀；然后将晶片浸没于含有臭氧的稀硫酸溶液中进行清洗，通过混合溶液腐蚀和含有臭氧的稀硫酸溶液清洗来达到更好的表面清洗效果，从而更好的降低晶片表面颗粒密度、减少金属残留及实现均匀氧化。
本发明授权一种（111）晶向锑化铟晶片的表面清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种（111）晶向锑化铟晶片的表面清洗方法，用于锑化铟（111）晶向晶片的表面清洗以降低晶片表面颗粒密度、减少金属残留及实现均匀氧化，其特征在于，包括以下步骤： S1.使用含有表面活性剂的溶液预清洗晶片表面，使表面呈现亲水状态； S2.采用去离子水冲洗晶片表面； S3.将晶片浸没于双氧水、氨水与水的混合溶液中进行腐蚀； S4.采用去离子水冲洗晶片表面； S5.使用晶片甩干机甩干表面； S6.将晶片浸没于含有臭氧的稀硫酸溶液中进行清洗，清洗时，将晶片固定于晶片夹上，再将晶片夹放于溶液中并在水平方向左右晃动； S7.采用去离子水冲洗晶片表面； S8.使用甩干机将晶片甩干； S1中，所述表面活性剂为10%-50%浓度的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠水溶液，处理时间为5s至60s。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南通咸昌新材料科技有限公司，其通讯地址为：226500 江苏省南通市如皋市磨头镇丁磨公路159号A2幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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