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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利基于射频激励的远程等离子体稳定发生方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120499916B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510991165.8，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权基于射频激励的远程等离子体稳定发生方法是由尹巧星;赵俊君设计研发完成，并于2025-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于射频激励的远程等离子体稳定发生方法在说明书摘要公布了：本发明涉及等离子体发生技术领域，公开了基于射频激励的远程等离子体稳定发生方法。该方法先基于预设的频率范围、功率强度和脉宽配置等激励参数，采集等离子体发生所需的状态监测数据，判断其是否达到预设稳定阈值。若达标，依射频发生器预设的含能量供给和任务需求的射频激励架构，构建对应激励任务，识别能量分布，将射频发生器作为主激励节点，经传输线路调度，远程动态分配任务至其他辅助发生节点，自适应调节连续、脉冲、混合等激励模式。判断辅助节点能否协同后，获取状态监测数据的核心、边缘、过渡等敏感区域类别，应用含相位同步与幅值均衡的稳定控制策略直接调控，依参数约束设定限制参数波动，实现远程等离子体稳定发生。

本发明授权基于射频激励的远程等离子体稳定发生方法在权利要求书中公布了：1.基于射频激励的远程等离子体稳定发生方法，其特征在于，包括以下步骤： 基于预设定的激励参数，采集等离子体发生所需的状态监测数据，其中，所述激励参数具体包括频率范围、功率强度和脉宽配置； 判断所述状态监测数据是否达到预设稳定阈值； 若是，则根据射频发生器预设的射频激励架构，构建所述状态监测数据对应的激励任务，识别所述激励任务的能量分布，依据所述能量分布，将所述射频发生器作为所述激励任务的主激励节点，通过传输线路进行激励调度，在远程动态分配所述激励任务至其他预设的辅助发生节点，自适应调节所述射频发生器的激励模式，其中，所述射频激励架构具体包括能量供给和任务需求，所述激励模式具体包括连续激励、脉冲激励和混合激励； 判断所述辅助发生节点能否协同所述主激励节点进行激励； 若能，则获取所述状态监测数据的敏感区域类别，基于所述敏感区域类别，应用预设的稳定控制策略对所述状态监测数据进行直接调控，根据所述射频发生器预设的参数约束设定，限制所述状态监测数据的参数波动，其中，所述敏感区域类别具体包括核心区域、边缘区域和过渡区域，所述稳定控制策略具体包括相位同步与幅值均衡，所述参数约束设定具体包括范围限制和速率限制。

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