季华实验室刘乔获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种微通道金刚石膜器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120473446B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510989723.7,技术领域涉及:H01L23/367;该发明授权一种微通道金刚石膜器件及其制备方法是由刘乔;郭可升;吴进设计研发完成,并于2025-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微通道金刚石膜器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种微通道金刚石膜器件及其制备方法,涉及散热器件制造技术领域。包括基体,基体设置有盘蜿凹槽,盘蜿凹槽的深度大于宽度;微通道金刚石膜器件还包括附着在盘蜿凹槽内壁的第一金刚石薄膜以及覆盖在基体上表面的第二金刚石薄膜,第一金刚石薄膜和第二金刚石薄膜连接为一体以围成位于基体内部的盘蜿微通道,盘蜿微通道包括供冷却介质进出的入口和出口。本发明旨在设计一种微通道金刚石膜器件,以提高高集成度、大功率、小型化电子产品的冷却效率。
本发明授权一种微通道金刚石膜器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种微通道金刚石膜器件,包括基体(100),其特征在于,所述基体(100)设置有盘蜿凹槽(110),所述盘蜿凹槽(110)的深度大于宽度;所述微通道金刚石膜器件还包括附着在所述盘蜿凹槽(110)内壁的第一金刚石薄膜(200)以及覆盖在所述基体(100)上表面的第二金刚石薄膜(300),所述第一金刚石薄膜(200)和所述第二金刚石薄膜(300)连接为一体以围成位于所述基体(100)内部的盘蜿微通道,所述盘蜿微通道包括供冷却介质进出的入口和出口。
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