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龙图腾网获悉埃克斯控股(北京)有限公司申请的专利机械手动作序列生成方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120439315B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510939879.4，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权机械手动作序列生成方法、装置、设备及存储介质是由傅慧初;付锦超;李倓;刘斌;郭宇翔设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本机械手动作序列生成方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及机械手动作序列生成方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取各个工艺模块的运行状态、当前晶圆完工时间和清洁预计完成时间；当存在任一工艺模块故障时，获取机械手的当前操作类型并判断是否存在同加工步骤的并行工艺模块，若存在，则构建候选集；根据预设的优先级排序规则，基于时间参数从候选集中选取最优转向工艺模块；基于机械手的当前操作类型、最优转向工艺模块以及实时状态参数重构动作序列并控制机械手执行；本申请公开的方法，可实现机械手动作序列的动态重构，具有显著的自适应决策优势，不仅减少了人工干预的频率，还显著缩短了组合设备的停机时间，从而提高了组合设备整体的产能利用率。

本发明授权机械手动作序列生成方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种机械手动作序列生成方法，其特征在于，包括： 获取各个工艺模块的实时状态参数，所述实时状态参数包括运行状态和时间参数，所述时间参数包括当前晶圆完工时间和清洁预计完成时间； 当任一工艺模块的运行状态反馈该工艺模块故障时，获取机械手的当前操作类型并判断是否存在同加工步骤的并行工艺模块，若存在，则构建候选集； 根据预设的优先级排序规则，基于时间参数从所构建的候选集中选取最优转向工艺模块； 基于机械手的当前操作类型、所选取的最优转向工艺模块以及各个工艺模块的实时状态参数重构动作序列；具体的，机械手的当前操作类型包括旋转操作、取片操作和放片操作；当机械手的当前操作类型为旋转操作时，判断所选取的最优转向工艺模块是否具备清洁需求，并根据判断结果和各个工艺模块的实时状态参数重构动作序列；当机械手的当前操作类型为取片操作时，根据各个工艺模块的实时状态参数重构动作序列；当机械手的当前操作类型为放片操作时，基于所选取的最优转向工艺模块和各个工艺模块的实时状态参数重构动作序列； 控制机械手执行重构的动作序列。

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