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龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利用于扫描电子显微镜的高度补偿值计算方法、装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120431166B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510927956.4，技术领域涉及：G06T7/70；该发明授权用于扫描电子显微镜的高度补偿值计算方法、装置是由侯健;请求不公布姓名;陈龙;邵加强设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于扫描电子显微镜的高度补偿值计算方法、装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种用于扫描电子显微镜的高度补偿值计算方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：获取待检测目标的光栅图像；基于预构建的目标检测网络对光栅图像进行处理，得到特征栅格在所述光栅图像中的位置信息；基于预设的窗口尺寸以及所述位置信息，在光栅图像中进行截取，得到目标区域图像；基于灰度特征，对目标区域图像以及参考区域图像中特征栅格的关联坐标信息进行亚像素匹配，得到亚像素坐标信息；根据目标区域图像以及参考区域图像中特征栅格的关联坐标信息以及亚像素坐标信息，通过坐标变换得到待检测目标的高度补偿值。采用本方法能够提高高度补偿值的计算效率和精度。

本发明授权用于扫描电子显微镜的高度补偿值计算方法、装置在权利要求书中公布了：1.一种用于扫描电子显微镜的高度补偿值计算方法，其特征在于，所述方法包括： 获取待检测目标的光栅图像，所述光栅图像基于预设的光栅结构成像得到，所述光栅结构包括一般栅格以及特征栅格，所述一般栅格为在成像区域中延第一方向平行排列分布的长条栅格，所述特征栅格为设于所述成像区域的中心的短条栅格，且所述特征栅格的中心区域设有缺口，所述特征栅格的宽度大于所述一般栅格，所述一般栅格的宽度从所述特征栅格开始向两侧递增； 基于预构建的目标检测网络对所述光栅图像进行处理，得到所述特征栅格在所述光栅图像中的位置信息； 基于预设的窗口尺寸以及所述位置信息，在所述光栅图像中进行截取，得到目标区域图像； 基于所述目标区域图像以及预设的参考区域图像的灰度特征，对所述目标区域图像以及所述参考区域图像中所述特征栅格的关联坐标信息进行亚像素匹配，得到亚像素坐标信息； 根据所述目标区域图像以及所述参考区域图像中所述特征栅格的关联坐标信息以及所述亚像素坐标信息，通过坐标变换得到所述待检测目标的高度补偿值； 所述方法还包括： 获取参考目标的参考光栅图像，所述参考光栅图像为在预设的基准高度下通过所述光栅结构对所述参考目标成像得到的光栅图像； 基于所述目标检测网络对所述参考光栅图像进行处理，得到所述参考光栅图像中所述特征栅格的位置信息； 基于所述窗口尺寸以及所述参考光栅图像中所述特征栅格的位置信息，在所述参考光栅图像中进行截取，得到所述参考区域图像。

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