芯恩(青岛)集成电路有限公司梁振森获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种气体注入装置及工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347748U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422705056.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种气体注入装置及工艺设备是由梁振森;靳志远;侯延辉设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体注入装置及工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气体注入装置及工艺设备，装置包括：第一本体，第一本体上设有同心的多个圆环形配合区，每个配合区上设有沿周向均匀分布的多个第一通孔，第一通孔与腔体内连通；多个同心的圆环形配合部，每个配合部对应位于一个配合区上，每个配合部上设有沿周向均匀分布的多个第二通孔，任意一个第二通孔与对应一个配合区上的对应一个第一通孔相上下重叠；任意一个配合部旋转时，由其上任意一个第二通孔与对应一个第一通孔的重合部分形成的工艺气体第一注入通道的口径发生变化。本实用新型能够实现工艺气体的多种注入方式的精细调节，使注入的工艺气体在衬底上均匀分配，提高了刻蚀均匀性。
本实用新型一种气体注入装置及工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种气体注入装置，用于向腔体内注入工艺气体，其特征在于，包括： 第一本体，所述第一本体具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有同心的多个圆环形配合区，每个所述配合区上设有沿周向均匀分布的多个第一通孔，所述第一通孔在所述第二表面与所述腔体内连通； 多个同心的圆环形配合部，每个所述配合部对应位于一个所述配合区上，每个所述配合部上设有沿周向均匀分布的多个第二通孔，任意一个所述第二通孔与对应一个所述配合区上的对应一个所述第一通孔相上下重叠； 任意一个所述配合部旋转时，由其上任意一个所述第二通孔与对应一个所述第一通孔的重合部分形成的工艺气体第一注入通道的口径发生变化。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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